基于共焦法透镜中心厚度检测的光学系统设计.pdfVIP

第36卷第6期 光学技术 V01．36No．6 2010年11月 oPTICAI．TECHNIQUE NOV．2010 文章编号：1002—1582(2010)06—0857—03 基于共焦法透镜中心厚度 检测的光学系统设计“ 乔杨，张宁，刘涛，徐熙平 (长春理工大学光电工程学院，吉林长春130022) 摘要：光学透镜的中心厚度是光学系统中的一个重要参数，其加工质量的好坏对光学系统的成像质量具有很大 的影响。提出了一种基于共焦原理的非接触在线检测技术。系统的测量范围可达到9．8ram，测量精度可达到14．7#m。 关键词：几何光学；光学系统设计；共焦法 中图分类号：TH706 文献标识码：A Opticalsystem forthemeasurementofcenter design of on thicknesslensbasedconfocal technology QIAO Tao，XU Yang，ZHANGNing，LIU Xiping ofPhoto-Electronic (School Engineering，ChangchunUniversity ofScienceand Technology，Changchun130022，Jilin，China) centralthicknessof lensisoneofthemost for its Abstract：The optical importantparametersopticalsystems，and has influenceonthe ofnon-contactonline precisiongreat imagingquality．Atechnology measurementbasedonconfocal is ofthis is the 9．8mm，and reaches technologyprovided．Themeasuringrange system precision14．7／am． optics；opticalsystemdesign；confocaltechnology Keywords：geometrical 整个系统的原理如图1E1]所示，由卤素灯发出 0 引 言 的光首先被耦合进传像束光纤，光纤将光传递到一 光学透镜是由玻璃或聚合材料制成的，高质量 个共焦光学系统前，并以此作为光源。共焦光学系 的光学透镜有着严格的公差限制[1]。透镜的中心厚 统在消色差的同时，还具有强烈的轴向色差。从光 度是光学系统的一个重要参数，直接影响透镜的焦 纤出射的光经过光学系统后，出射光按波长汇聚在 距、由率半径等参数，所以必须在生产过程中进行实 光轴上，形成一个由短波到长波纵向逐渐变化的彩