基于单片机的AFM纳米机械性能测试系统.pdfVIP

第16卷第7期 光学精密工程 V01．16No．7 andPrecision 2008年7月 optics Engineering Jul．2008 文章编号 1004—924X(2008)07—1223一07 基于单片机的AFM纳米机械性能测试系统 闫永达1’2，费维栋1，胡振江2，程相杰2，孙涛2，董 申2 (1．哈尔滨工业大学材料与工程学院，黑龙江哈尔滨150001； 2．哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨150001) 摘要：为解决采用原子力显微镜(AFM)系统进行纳米机械性能测试中存在的不能够直接获得载荷一压深曲线以及不能够 随意改变加载、保载、卸载时间等问题，对AFM系统进行了改造，开发了一套基于单片机的信号输入输出模块。将该模 块与AFM控制系统相联。形成新的纳米机械性能测试系统。该系统信号输出精度为o．15mV，信号采集精度为 O．3mV，工作台的移动灵敏度为1．53啪，可以动态改变垂直载荷，并实时获得载荷一压深曲线。通过单片机设置模拟信 号的输出速率可以实现加载、保载和卸载速率的改变；结合二维微动精密工作台。可以实现较大范围内高精度的点阵压 痕测试。通过在聚碳酸酯、聚二甲基硅氧烷等材料表面进行实验测试表明：该系统可以高速高精度地测量样品的纳米机 械性能参数，包括对样品进行纳米压痕测试和对样品的纯弹性变形过程进行检测，如聚二甲基硅氧烷或者各种微梁等微 小构件。 关键词：原予力显微镜(AFM)；单片机；纳米机械性能；栽荷一压深曲线 中圈分类号：TH742．9文献标识码：A SCM_basednanomechanicalmeasurementofAFM property system YAN Shen2 Yong-dal”，FEl Ta02，DONG Wei—don91，HUZhen-jian92，CHENGXian90ie2，SUN (1．S击00Zo，A缸￡已以以＆i绷馏口以而gi以凸洲靠g，Hn觑72 2．(为卵￡P，．o厂P，℃fisio，z to AbstI’act：Inorderobtaintheforce curve and the load depth directlychangeloadingtime，keeping timeand time inthenanomechanicaImeasurementAtomicForceMi— unloading arbitrarily property by AFM wasmodified．A croscope(AFM)，ansystem SingleChipMicyoco(SCM)-basedinput／output was in Connectedthis of module the moduletothecontrol AFM，a developedpresentstudy． system novelAFM-basednanomechanicalmeasurementwasformedwiththe property system signaloutput of0．15