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透射电镜应用 透射电镜应用 透射电镜应用 * 电子显微镜 人眼的分辨：0.1~0.2mm 借助光学显微镜: 0.2?m 能否再提高: 可以 光学显微镜分辨率: 0.61? / NA ? NA 电子显微镜 缩短波长: 短波光辐射和带电粒子 德布罗意假设: 粒子的波粒二象性 运动微观粒子的波长 ?=h/mu 对电子来说: m是电子的质量, u是速度 不同加速电压下电子波的波长 加速电压（kV） 电子波长(nm) 20 30 50 100 200 0.00859 0.00698 0.00536 0.00370 0.00251 当加速电压U是100kV时, 电子波长为0.0037nm, 是可见光波长的十万分之一 因此, 用电子束作照明源, 可极大地提高显微镜的分辨率, 这是电子显微镜的理论基础 具有旋转对称性的电磁场对电子来说, 可以起到透镜的作用, 解决了电子束聚焦问题, 使电子显微镜制作成为可能 1932年, 德国的Knoll和Ruska首先造出了电子显微镜，分辨率达到200nm，1934年他们把分辨率提高到50nm。 1940年左右，出现了分辨率在10nm的商品电镜 电子透镜是能产生旋转对称场的电极系统或线圈, 它们对电子束有聚焦作用, 如同玻璃光学透镜对光线具有聚焦作用一样 有两种形式的电子透镜 静电透镜和磁透镜 静电透镜 电场对带电粒子的作用力为: F=qE 电子在静电场中的运动, 其运动规律与普通光学系统中光线的传播规律相类似 双圆筒静电透镜示意图 与旋转弯曲电场对电子束有聚焦作用类似,旋转对称磁场对电子束也有类似的会聚作用 电子受力分析 电子显微镜 热阴极发射：在外场作用下，被加热到很高温度的金属或某些化合物会发射电子，即热电子发射。 阴极材料应具有尽可能高的熔点和低的逸出功 W，Ta 钽 ，Re铼 和 LaB6六硼化镧 第二章 电子显微镜 电镜结构：真空系统 镜筒内必须保持高真空 电子束与空气分子碰撞、高压放电、灯丝氧化、试样污染 避免 真空度：10－3～10－4Pa 真空系统：机械泵+分子泵或扩散泵 机械泵：前级泵，10－1Pa，热电偶真空计 分子泵：高真空泵，10－4Pa，电离真空计 *