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直拉单晶硅配料工艺探讨 中国电子科技集团公司第四十八研究所 ■ 谢于柳 江苏聚能硅业有限公司 ● 朱立豪 江苏腾大光电有限公司 ■ 李卫宁 一 引言 根据载流子类型不 同，导电类型也不同划分 。 单晶硅的主要参数有型号、电阻率 、少子寿命、 原料一般分为P型和N型，当然也会 出现一面表现 位错密度、晶向、碳氧含量等。它们对单晶硅棒的 为P型、另一面表现为N型的阴阳料。 品质有决定性的作用 ，并且影响着单晶硅后续工艺 2 电阻率选择 电池片的处理工艺 。电阻率是其 中最为复杂的一个 电阻率区问划分至关重要 ，分选太细会增加选 参数 ，它跟工艺有着密切关系。本文主要探讨单晶 料的难度和劳动强度，分选太粗 ，又会直接影响后 硅电阻率这一参数 。由于相同的原料经过不同的配 续配料电阻率的准确性 ，因此合理划分很重要。 比，可 以得到多种不同的配料方案，因此对于单晶 硅不仅要配比出合格的电阻率，还需要考虑单晶成 四 配料环节的控制 品、装料合理性以及原料整体价格合理性等问题。 配料的基本原则：(1)对于P型原料，应使所配 直拉单晶硅配料的精确性与配料的稳定性及选 比原料中的硼原子总浓度与 目标电阻率所对应的硼 料的合理性有着密切的关系，因此要想配出精准电 原子浓度相等；(2)对于N型原料 ，应使所配比原料 阻率和整体价格合理的单晶硅棒 ，就要对原料的采 中的磷原子总浓度与 目标电阻率所对应的磷原子浓 购进行严格的控制 ，对选料划分进行合理的安排 ， 度相等。 以及在后续生产中进行及时必要的修正和总结。 根据 GB／T13389—1992 掺硼掺磷硅单晶电阻 率与掺杂剂浓度换算规程 ，则有： 二 原料采购环节控制 (1)掺硼硅单晶电阻率计算掺杂浓度值JV 原料市场相对混乱 ，产品良莠不齐 ，加上一些 1．330X 10 1． 082x 1017 中间商 由于利益的驱使 ，难免掺有一些品质不稳定 、，_l — — +— — P P[1+(54．56Xp) ] 的原料 ，所 以采购环节非常重要。为了降低拉晶成 (2)掺硼硅单晶掺杂剂浓度计算电阻率P 本 ，不仅要采购原生多晶体 ，也要采购一些片料、棒 1．305x 1016 1．133 × 1017 料等，只有合理搭配才能降低价格 。采购过程 中应 — 】(2) 尽可能跟大厂家 、大的代理商合作，这是因为大厂 式中：p为电阻率 ，Q ·cm；N为掺杂剂浓度， 家生产的产品质量相对稳定 ，产品参数也相对准 cm ～