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第29卷第7期 光学学报 V01．29，No．7
2009年7月 ACTA0PTICASINICA July，2009
文章编号：0253—2239(2009)07—1877—04
基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法
薛 晖 沈伟东 顾培夫 罗震岳 刘 旭 章岳光
(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州310027)
摘要设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统，主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干
涉信号进行频域分析，结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数，进一步精确反演得到待测薄
膜样品的物理厚度，使用上述方法对多组不同厚度的薄膜样品进行计算，并对结果进行了详细的精度及误差分析。
将本实验装置测试所得到的数据与传统的光度法相比较，结果表明使用该测试方法测量光学薄膜物理厚度的误差
可以小于1am。与传统的光度法和椭偏法相比，提供了一种测量光学薄膜厚度的较为简单、快速的解决方案，同时
保证了较高的精度。
关键词 白光干涉；测量薄膜物理厚度；等效厚度；频域分析
中图分类号0436．1 文献标识码 A doi：10．3788／AO1877
Thickness ofThinFilmBasedon
Measurement White-Light
Interferometry
Spectral
XueHuiShen GuPeifuLuo LiuXuZhangYueguang
Weidong Zhenyue
(State ofModern 310027，China)
KeyLaboratoryOpticalInstrumentation，ZhejiangUniversity．Hangzhou，Zhejiang
AbstractAnewmethodof thicknessof thinfilmwith spectral
measuring optical dispersivewhite-light
is therecordedinterferenceinthe domainand the
frequency fitting
interferometryproposed．Byanalyzing spectrum
c3nbe of
recordedchannel tothetheoreticalvalue，thethin-filmthicknessdetermined．Thethicknesses
spectrum
film calculatedandtheresultsshowthatthismethodcanreach with
severaldifferentthin are precision
samples high
theerrorlessthan1nm．Thenewmethodcan a andfastsolutionin thicknessof
providesimple c
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