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干涉式量块比较仪的机器视觉自动化定标
方强,汤昌社
(广东省计量科学研究院,广东 广州 510405)
摘要:根据等厚干涉光强分布规律,从频域的角度介绍了干涉式量块比较仪的定标方法。用CCD采集单色光等厚干涉图像,计算机对图像作傅立叶变换并提取主频信息,通过简单运算完成比较仪的自动化定标。根据定标结果,成功开发出量块比较仪机器视觉自动化读数系统,测量重复性s=0.006μm示值误差δ=0.024μm。
关键词:量块比较仪;等厚干涉;定标;机器视觉1 引 言
目前3等以下量块主要运用与2等标准量块相比较的方法进行检定[1],所使用传统光学接触式干涉仪(如乌氏干涉仪)均是六、七十年代产品,靠人眼读取等厚干涉条纹位置刻度值,劳动强度大,易引入人为误差。为提高自动化水平,先后出现了电感式与光栅式等新型智能化比较仪,这些运用全新位移传感原理的量块比较仪相对乌氏干涉仪而言造价偏高,在测量效率与准确度方面却没有明显提高,反而有所下降。可以说目前还没有一种量块比较仪在使用寿命和长期稳定性方面能与传统的等厚干涉式比较仪相媲美。
运用机器视觉技术对传统乌氏干涉仪进行改造,既能保留原等厚干涉式比较仪的技术优势,又能实现测量的自动化,且成本低廉。测量前需用单色光形成周期性等厚干涉条纹进行定标,传统的数条纹方法费时费力且不利于计算机进行自动化操作。采用傅立叶变换方法提取周期性等厚干涉条纹的主频信息,计算机能迅速完成定标操作,且具有极强的抑噪能力。
2 系统硬件构造
测量系统硬件结构如图1所示,虚线框内是一传统的迈克耳逊干涉仪(也就是原量块比较仪)。这里的物镜,目镜和像机镜头其实都分别是透镜组合。物镜与目镜实际上构成了一个显微镜结构,物镜把干涉条纹成像于分划板,目镜又把分划板的像作为物,成像在无穷远,所以像机镜头是对无穷远调焦。在改造过程中弃用了原成像分划板,直接用CCD像素阵列作为刻度标尺。
图1 硬件构造示意图
1.光源;2.聚光镜;3.滤光片;4.参考镜;5.分光镜;6.补偿镜;7.平面反光镜;8.物镜;9.分划板;10.目镜;11.测帽;12.量块;13.工作台;14.镜头;15.CCD摄像机;16.计算机
3、原理与方法
3.1 定标原理
测量前应对干涉条纹在CCD面板的移动量所对应的长度变动量进行确定,也就是俗称的定标。根据图2单色光等厚干涉条纹,选其中n条干涉纹,序号从1到n,定标值可由以下公式决定[]:
(1)
图2 单色光等厚干涉条纹
K为每像素代表的长度变动量,为滤光片波长,为第n条干涉纹的以像素为单位的一维位置坐标。
如图1迈克耳逊干涉仪的两块参考镜4和7实际可等效成图3所示的楔形空气膜,夹角为θ,属分振幅双光束等厚干涉。考虑半波损失,光程差可表示为横坐标x的函数:
(2)
若两表面反射光强分别为I1与I2,单色光干涉光强分布可表示为[]:
(3)
一般分光镜的设计使得,又令,则上式可简化为:
(4)
图3 简化的等效光路图
成像后CCD面板的干涉光强分布理论上也满足式(4),此时x以像素为单位,取离散值,而Ω0代表空间数字频率(实际上是数字波矢的模),干涉暗纹位置也即I(x)取最小值处。从(1)(4)两式不难得到定标值:
(5)
所采集干涉图实际是以灰度值二维数组的形式表示,灰度值范围为[0,255]。计算机取其中一行灰度值进行离散傅立叶变换便可确定Ω0,达到定标的目的。
3.2 Ω0的计算方法
对数字信号I(x),其离散时间傅立叶变换(DTFT)表达如下:
(6)
若信号序列I(x)的变化具有主频率分量Ω0,则相应的取极值,通过分布曲线便可确定Ω0。根据式(4)知单色光等厚干涉光强分布是一单一频率的余弦函数,高品质的CCD所采集信号的噪音量小,能高度还原干涉光强变化趋势,因此根据CCD所采集信号的频谱来确定式(4)中的Ω0是非常合理且可靠的。
实际操作中还要考虑的2π周期性。数字频率与模拟频率f和采样频率fs的关系如下:
(7)
可见只要采样频率fs是信号频率f的2倍以上(也就是Nyquist采样原理),其数字频率Ω就控制在(0,π)的范围内。对图2所示的约30条暗纹(也即30个周期)的视场,我们用601个像素进行解析,采样频率是信号频率的将近20倍,所以频谱的周期性不会影响数字频率的确定。
计算机在执行以上操作时实际是采用了离散傅立叶变换DFT的快速算法,DFT表达式如下[]:
i=0,1,…,N-1 (8)
N代表样本数。这样对于N个样本的信号列,其频谱也具有N个离散点,数字频率与数字坐标i具有如下关系:
(9)
计算机通过DFT得到分布,寻找极值所对应的i0,通过式(9)得到数字频率Ω0,从而解得定标值K
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