传感器参考1讲义2010.doc

绪论 传感器级传感器技术 传感器的概念来自“感觉（sensor）”一词，人们为了研究自然现象，仅靠人的五官获取外界信息是远远不够的，于是发明了能代替或补充人五官功能的传感器，工程上也将传感器称为“变换器” 根据国标（GB7665－87），传感器的定义为：能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置 1)从传感器的输入端来看：一个指定的传感器只能感受规定的被测量. 对规定的物理量具有最大的灵敏度和最好的选择性。例如温度传感器只能用于测温，而不希望它同时还受其它物理量的影响. 2）从传感器的输出端来看：传感器的输出信号为“可用信号”， “可用信号”是指便于处理、传输的信号，最常见的是电信号。 3）从输入与输出的关系来看：它们之间的关系具有“一定规律”，即传感器的输入与输出不仅是相关的，而且可以用确定的数学模型来描述。 传感器的组成按其定义一般由敏感元件、变换元件、信号调理电路三部分组成， 传感器技术：包括传感器的设计、制造、研究、检测、应用的综合性技术。传感器的输出信号通常是电量, 它便于传输、 转换、 处理、 显示等。 电量有很多形式, 如电压、电流、电容、电阻等, 输出信号的形式由传感器的原理确定。 由于传感器的输出信号一般都很微弱, 因此需要有信号通过转换电路对其进行放大、运算调制等。随着半导体器件与集成技术在传感器中的应用, 传感器的信号调制与转换电路可能安装在传感器的壳体里或与敏感元件一起集成在同一芯片上。例如AD590。DS1820 …  2.传感器技术 包括传感器的设计、材料、工艺、检测、应用等技术 （1）传感器的设计 物性型传感器件，这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。 结构型传感器发展得较早，目前日趋成熟。结构型传感器，一般说它的结构复杂，体积偏大，价格偏高 物性型传感器大致与之相反，具有不少诱人的优点，加之过去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方面投入大量人力、物力加强研究，从而使它成为一个值得注意的发展动向。 2）传感器的材料研究 传感器的材料开发传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学的进步，人们可任意控制它们的成分，设计制造出用于各种传感器的功能材料。目前有：半导体敏感材料；陶瓷材料； 磁性材料等。 金属氧化物半导体以制造各种气体传感器，而陶瓷传感器工作温度远高于半导体。 光导纤维的应用是传感器材料的重大突破，用它研制的传感器与传统的相比有突出的特点。有机材料作为传感器材料的研究，引起国内外学者的极大兴趣. 3）传感器的工艺研究 在发展新型传感器中，离不开新工艺的开发。。 利用半导体技术制造出压阻式传感器。利用薄厚膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器。 微机械加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域 4）传感器的集成化、多功能化、智能化 集成化：同时测量几种不同被测参数，可将几种不同的传感器元件复合在一起，作成集成块。例如一种温、气、湿三功能陶瓷传感器已经研制成功 多功能化：多个功能不同的传感元件集成在一起，除可同时进行多种参数测量外，还可对这些参数的测量结果进行综合处理。 同一功能的多元件并列化，即将同一类型的单个传感元件用集成工艺在同一平面上排列起来，如CCD图像传感器。多功能一体化，即将传感器与放大、运算以及温度补偿等环节一体化，组装成一个器件 智能化：对外界信息具有检测、数据处理、逻辑判断、自诊断和自适应能力的集成一体化多功能传感器，这种传感器具有与主机互相对话的功能，可以自行选择最佳方案，能将已获得的大量数据进行处理，实现远距离、高速度、高精度传输等 智能传感器是传感器技术与大规模集成电路技术相结合的产物。这类传感器具有多功能、高性能、体积小、适宜大批量生产和使用方便等优点，是传感器重要的发展方向之一。如，DS18B20 5）传感器的检测、应用技术 1．2 传感器的作用 信息技术是由三大部分组成 信息的采集 信息的传输 信息的处理 传感器技术，通讯技术， 计算机技术 可见传感器是计算机与自然界及社会的接口，为计算机采集并提供信息的工具。若没有传感器，计算机的功能就不能得到有效的发挥。因此传感器技术是信息技术中不可缺少的一门技术。 1.3 发展简况 60年代由于微电子技术的发展，大规模、超大规模集成电路的发展。计算机开始做得比较小、便宜，也开始用工具控制。经过十多年的努力，计算级处理信息的能力已经趋近于完善。到80年代，国际上出现“信息处理能力过剩，信息获取不足”，即所谓的“大脑发达，五官迟钝”的局面。为了解决这一问题，世界各地几乎同时掀起一股传感