用于Raman光谱与微纳米结构同步检测的RamanAFM系统研究.pdfVIP

第32卷，第4期 光谱学与光’谱分析 2 01 2年4月 and SpectroscopySpectralAnalysis April，2012 史 斌，章海军，吴 兰，张冬仙。 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州 310027 摘要研究和发展了一种将微区拉曼(Raman)光谱检测与原子力显微镜(AFM)微纳米扫描成像相结合的 系统；利用该系统，对ZnO纳米颗粒和Ti()2纳米薄膜开展了微区Raman光谱与微纳米结构的检测实验。研 究表明，所获得的Raman光谱检测结果与理论值良好吻合，同时，AFM扫描检测得到的图像很好地表征了 样品的微纳米结构，从而实现了微区Raman光谱与AFM图像的原位及同步检测，验证了这一技术的可行 性，为Raman光谱技术与微纳米技术领域的实际应用提供了技术基础。 关键词Raman光谱；AFM；微区；原位；微纳米结构 中图分类号：TB96文献标识码：A DOI：10．3964／j．issn．1000—0593(2012}04—0993—04 得样品在某一波长或某一波段的Raman光谱和微纳米结构。 引 言 十分复杂、价格相当昂贵，从而在某种程度上制约了其进一 拉曼(Raman)光谱[1’2]能够提供样品的化学成分和物质步推广应用。 结构等信息[3]，并可对样品进行定性或定量分析，具有制样 简单、灵敏度高、适用范围广等特点，在物理学、化学、材料 们采用将微区Raman光谱探头与探针扫描式AFM探头相结 学、高分子科学、生物医药及地质等领域的应用前景十分广 合的原位检测探头设计，具有分辨率高、光谱检测范围广、 阔。另一方面，随着微纳米技术的快速发展，扫描电子显微 结构新颖、操作简便、可同时适用于小样品和大样品等特 镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜点，可望在光谱技术及微纳米技术等领域获得广泛应用。 (AFM)[4]、近场光学显微镜(SNOM)[5]等技术，以其分辨率 高(纳米乃至原子量级)、适用范围广(导体、半导体与非导 1原理与方法 体)、工作环境可选(气相、液相、真空)等特点，在微纳米技 术领域得到广泛应用。 Raman光谱技术是一种基于拉曼散射效应的振动光谱 传统的Raman光谱检测技术只能提供样品的Raman光技术。当光线入射到物质或样品时，会发生光的散射，其中 谱信息；同样，利用常规的微纳米检测技术只能获得样品的 大部分是弹性散射，散射后的光波长不变，称为瑞利散射； 微纳米结构信息。而在许多特殊领域，往往需要同时获得 极少数散射属于非弹性散射，散射光波长发生了改变，这一 Raman光谱和微纳米结构，这就对Raman光谱技术的研究 和应用提出了新的要求。研究开发将Raman光谱检测技术称为斯托克斯散射，波长变短的散射称为反斯托克斯散射， 与其他检测技术相结合的新技术及新系统，成为近年来国内 一般而言，前者的强度远大于后者，Raman光谱仪大多利用 外的一个研究热点，出现了与各种光学探测方法相结合的 斯托克斯散射现象。Raman散射光波长或频率的变化 Raman光谱探测技术[6。8]、Raman光谱与SEM联用的检测方 法[9J、与SNOM结合的Raman-SNOM系统[1…，以及与在一一对应的关系，不同的Raman峰表征了不同的化学键， AFM相结合的Raman-AFM系统等[11’”]。其中，Raman-Raman光谱技术就是利用这一原理来探测分析样品的化学 AFM系统是最近发展起来的新技术，主要特点是可同时获 成分和物质结构的，具有很高的准确性。 收稿日期：2011-08—11。修订日期：2011—1l一28 基金项目：国家自然科学基金项目51077117)和浙江省自然科学基金项目(Z1110196)资助 作者简介：史斌，1988年生，浙江大学现代光学仪器国家重点实验室博士生e-mail：s