毕业设计论文--用于表征共振微悬臂的可精密调压真空系统的设计.pdfVIP

学士学位毕业论文 用于表征共振微悬臂的可精密调压 真空系统的设计 作 者 姓 名： 李国良 指 导 教 师： 李建昌 单 位 名 称： 机械工程与自动化 专 业 名 称： 过程装备与控制工程 东 北 大 学 2009 年6 月 Vacuum system with precisely adjustable pressure for resonant micro-cantilevers characterization By Li Guoliang Supervisor: Li Jianchang Department: Mechanical engineering and automation Major: Process equipment and engineering Northeastern University June 2009 毕业设计（论文）任务书 毕业设计（论文）题目： 用于表征共振微悬臂的可精密调压真空系统的设计 设计(论文) 的基本内容： 1）工程图纸折合A0 幅面 4 张；（包括装配图2 张，真空室部件图若干张，零件 图）； 2 ）设计说明书一份；（包括文献综述、泵组的选择、各结构确定及参数计算、实 验中振动问题的解决，真空焊接等）； 3 ）外文资料译文一篇。（Characterization system for resonant micro- and nanocantilevers ， Rasmus Sandberg, Anja Boisen, and Winnie Svendsen. ）。 毕业设计（论文）专题部分： 题目：精密可调真空漏气阀的设计 设计或论文专题的基本内容： 1）流导计算； 2 ）调节的范围计算。 学生接受毕业设计（论文）题目日期 第 1 周 指导教师签字： 2008 年 3 月 5 日 —I— 东北大学毕业设计（论文） 摘 要 用于表征共振微悬臂的可精密调压 真空系统的设计 摘 要 微悬臂梁是一种高灵敏度的纳米传感元件。由于在测量和检测探头方面成本低并且 具有较高的灵敏度，微悬臂梁的研究和应用范围不断扩展。表征微悬臂梁的实现基于超 高真空系统。该系统的真空度可达到1×10-6Pa。因为振动对微悬臂的实验测定有很大影 响，所以设计了减振支架和泵座，且用波纹管连接真空室和分子泵，从而有效地阻止振 动传入真空室。 本设计主要实现对真空室气体压力的精确控制。目前，微流体控制技术主要有2个 研究方向：微流量泵和微流量控制阀。本文所研究的是微流量控制阀，当要求调节的真 空度小于10-3Pa时，该阀通过一套精密的杠杆螺旋机构来进行调节的；当要求调节的真 -3 空度大于10 Pa时，采用压电陶瓷作为微驱动控制器来控制微流量控制阀的阀芯开口， 从而实现微流量的精密控制。 本课题研究的内容包括： 1.通过计算设计一个表征微型纳米悬臂传感器共振特性的真空系统,并对真空室采 取一定的减振措