大直径连续SiC（或硼）纤维射频气相沉积法的产业化生产.pdfVIP

大直径连续 SiC(或硼)纤维射频气相沉积法的产业化生产/ 陈新谋等 ·63 · 大直径连续 SiC （或硼）纤维射频气相沉积法的产业化生产 陈新谋，陈 刚 （石家庄开发区新谋新科技开发有限公司，石家庄050035 ） 摘要 介绍了实现了借助高频加热法硅烷化学气相沉积生产 SiC 纤维的工业化过程。着重介绍了化学气相沉积法的原 理、SiC （或B ）纤维工业化生产的工艺、流程和设备。此外，该法也可用于生产大直径连续硼纤维、硼化钛纤维以及各种 不同的表面涂层等。 关键词 射频 气相沉积 SiC 纤维 Industrialized Production of SiC Fiber by Radio Frequency Chemical Vapor Deposition CHEN Xinmou，CHEN Gang （Xinmou New Science and Technique Development Company of Shijiazhuang Development Zone ， Shijiazhuang 050035） Abstract An industrialized process of chemical vapor deposition by heating silane in virtue of radio frequency electro-magnetic field, has been implemented for producing silicon carbide fibers. In this paper, the principle of the CVD, the industrialized technique, flowsheet and equipments for SiC producing are introduced as the stressed points. Furthermore this method as well as the equipments can also be used for producing continuous boronic filaments with large diameter, titanium boride fibers and various surface coats etc. Key Words radio frequency ，chemical vapor deposition，SiC fiber 0 前言 多丝的射频反应装置，即用１套装置同时可生产N 条（例如 10 条以上）纤维，把年产能从 50kg 的中试生产线扩大到吨 大直径连续碳化硅纤维是一种强度高、弹性好、在高温 级产业化生产线。再配备尾气回收装置，把反应气体的利用 下具有优异性能的陶瓷材料。在航空航天和国防工业领域有 率从百分之几提高到 50% 以上，从而使成本大幅度下降，实 着广阔的应用前景。如火箭管、导弹鼻锥、机翼前沿、发动 验了产业化。 机燃烧室零件以及刹车片等。另一方面 SiC 纤维还作为一种 本项目 1976 年研发硼纤维和 1984 年研发 SiC 纤维的射 新型的半导体材料，以其优良的物理化学特性及电特性，成 频反应器于 1992 年申报了发明专利，1996 年正式授权（专 为制造短波光电子器件、高温器件、抗辐照器