SnO_2_Sb薄膜的光学和电学性能的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 荆州师 专学报 自然科学版 年 月 , 薄膜 的光学和 电学性能 的研 究 陈俊芳 赵 绪新 冉 勇 中科 院等 离子所 湖 北农学 院 物理 系 文采 用 子 激 活 相 沉 积 备 了 掺 透 明导 电 , 研 摘 要 本 等 离 体 化 学气 制 杂 膜 并 口 , 究 了薄膜 的光 学和 电学性 能 制得 的薄膜 电阻 最低 约为 。 其 可 见 光透 射 率为 以上 , 红 外 吸 收率为 左 右 还 测得 该 膜具有 负温 阻特 性 关 键词 等 离子体 化 学 气相 沉 积 电学性 能 光 学性 能 温 阻特 性 引言 等 离子 体 化 学 气 相 沉 积 即 是 本 世 纪 年 代 开 , ’ ’ 〔 〕 展 到 了 始 在 化 学气 相 沉积 基础 上 发 起 来 的一类 制备 材料 的新 技 术 它 在 年代 得 迅速 发 展 , 并 已 从实验 室 走 向生产规模 它具有化 学 气相 沉积 的诸种 优 点 , 又 克 服 了化 学 气相 沉积 反 应 温 较 的 , 而 可 以 备 具 化 学 沉 以得 到 的 些 中 度 高 缺 点 从 制 有特殊性 质 的或是 积难 某 有