电子回旋共振放电的数值模拟.pptVIP

18/8/2002 随着低温等离子体在微电子工业的广泛应用和快速发展，对低气压、高密度等离子体源的需求与日俱增。目前可采用(电子回旋共振)ECR放电、感应耦合射频放电、螺旋波放电等方式生成。ECR放电生成的等离子体具有高密度、运行气压低、高电离度、大体积、均匀、无电极污染、设备简单、参数易于控制等优点，广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入、溅射、表面清洁等。ECR放电还可以产生高密度、高电荷态离子束，该离子束在原子物理、核物理、高能物理，甚至工业应用等方面均已经被广泛应用。 在实验方面，人们已经可以通过: Langmuir探针 Doppler-Shifted 激光感应荧光计 激光Thomson scattering 光谱法 微波干涉仪 能量分析仪 等来进行诊断。但由于ECR放电复杂的变化过程，使得仅仅利用实验是无法深刻理解其物理机制和瞬态过程的，而且诸如：ECR加热、粒子的输运过程、带电粒子能量分布和角分布，对实际的应用起直接的指导作用，这些都需要对ECR放电进行深入的理论及模拟研究。 理论及模拟研究 Outline 1. 物理模型 2. 理论方法 3. 数值模拟 4. 诊断分析 1.