单晶作业指导书.docVIP

江苏阳光晶源科技有限公司标准操作文件 编 号： 拉晶作业指导书 版 本： 受控状态： 批　准 审　核 编　制 日　期 日　期 日　期 文件编号： 发布日期： 生效日期： 受控状态： 受 控 号： 版次修订状态： 起草： 审核： 批准/日期： 江苏阳光晶源科技有限公司 工序名称 真空泵的清理及泵油的更换 适用范围 试用于真空泵的清扫及泵油更换作业 作业顺序 3/30 1、准备好专用工具及纸巾置于真空泵位置； 2、关闭主泵球阀； 3、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管； 4、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶； 5、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关； 6、在控制柜上挂上“禁止操作”牌； 注意事项及原由： 1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气； 2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房； 3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油； 4、处理废油时注意泵房卫生； 5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害； 6、出现异常立刻处理并报告班长； 1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置； 2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污； 3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净； 4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖； 注意事项及原由 1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油； 2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态； 3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死； 4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶； 5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管； 1、打开真空泵注油口； 2、将加油漏斗放入真空泵注油口； 3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油； 4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置； 5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油； 6、装上尾气管，盖好注油口； 7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。若低于下限重复以上操作； 注意事项及原由 1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔； 2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油； 3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房； 4、注意清理真空泵及周围卫生； 5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管； 6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录； 一、放 油 二、清泵 三、注 油 工序名称 真空泵的清理及泵油的更换 适用范围 拉晶过程中单晶的取出 作业顺序 4/30 一 、作业准备 二、单晶取出 1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾； 2、准备好钢丝钳、取单晶的小车； 3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁； 注意事项及原由 1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费； 2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染； 3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏； 1、待单晶冷却5小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度； 2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行热检漏并相应记录； 3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，流量为20升/分，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室； 4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度； 5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶； 6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内； 7、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置； 8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和生产作业流程单上，然后进入《石墨件取出》工序； 注意事项及原由 1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废； 2、泄漏率﹤4pa/10min 为正常，否则当班人员报告班长或车间主管，并做相应记录； 3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单晶坠落，应缓慢移动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接