四氯化硅转化技术的现状与发展趋势[J].pdfVIP

第45卷 第4期 氯 碱 工 业 Vo1．45，No．4 2009年4月 Chlor——AlkaliIndustry Apr．，2009 四氯化硅 转化技术 的现状 与发展趋 势 陈涵斌 ，李育亮，印永祥 (四川大学化工学院，四川 成都 610065) [关键词】四氯化硅；转化；三氯氢硅；多晶硅；气相法白炭黑 ；硅酸乙酯；光纤；等离子体法 [摘 要]介绍以四氯化硅为原料生产的几种化学产品(气相法白炭黑、硅酸乙酯、多晶硅、光纤材料、三氯氢 硅)的生产技术的现状和发展趋势，并分析这些产品的市场容量和对消耗四氯化硅所起的作用。国内多晶硅的大 规模生产即将兴起，解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍国内外四氯化硅氢化技 术，及笔者正在开发的等离子体四氯化硅还原新工艺。 [中图分类号]TQ127．2 [文献标志码]A [文章编号]1008—133X(2009)04—0027—05 Thepresentsituationanddevelopmenttrend ofconversiontechnologyofsilicon tetrachloride CHEN Han—bin，LIYu—liang，YIN Yong—x／ang (CollegeofChemicalEngineering，SichuanUniversity，Chengdu610065，China) Keywords：silicon tetrachloride；conversion；trichlorosilane；polysilicon；fumed silica；ethylsilicate； optical fiber；plasmamethod Abstract：Thepresentsituationanddevelopmenttrendoftechnologyfortheproductionofsomekinds ofchemical products，suchasfumedsilica，ethylsilicate，polysilicon，optical fiberandtrichlorosilane，by usingsilicon tetrachlorideasraw material are introduced．Th emarketvolumesofhteabove chemical productsandtheireffectsontheconsumptionofsilicontetrachlorideareanalyzed．Forhtedomesticlrage scaleproduction ofpolysilicon springingup soon，conversion intotrichlorosilane isthemostefficient method tosolvetheby—productsilicontetrachloride．Th ehydrogenationtechnoloyg ofsilicontetrachlo- rideathomeandabroadisintroducedemphaticallyaswellasthenewplasmatechnoloyg ofrsilicontetra- chloridereductionwhichiSbeingdevelopedbytheauthors． 多晶硅是 电子工业和光伏产业所需的主要原 成来 自两方面：① 以目前国内的技术水平计算，在还 料。随着全球能源危机的 日益加剧，太阳能作为一 原炉内每生成 1t多晶硅 的同时产生 15t四氯化 种清洁、可持续再生的能源，在全球范围内越来越受 硅；② 以硅收率8％的还原水平计算，每生成 1t多