获取平面光学元件面形偏差的方法研究.pdfVIP

第39 卷 第4 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.39 No.4 2010年7月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Jul. 2010 获取平面光学元件面形偏差的方法研究 江晓军，刘正国，洪晓鸥，汪志锋 (上海第二工业大学电子与电气工程学院 上海 浦东新区 201209) 【摘要】提出一种利用BP神经网络获取平面光学元件面形偏差的方法。该方法先确定一幅干涉条纹图像测试区域中条纹 弯曲量和条纹间距，然后对BP神经网络进行训练，最后获取被测平面光学元件的光圈数。通过与Zygo激光干涉仪的测量结果 进行比较，发现两者的测量结果相吻合。实验结果表明，该方法不仅可以增强处理干涉条纹图像的适应性，而且可以提高测 量精度。 关 键 词 BP神经网络; 数字图像处理; 条纹分析; 测量 中图分类号 TN911.73 文献标识码 A doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2010.04.023 Study on Obtaining the Surface form Deviation of the Plane Optical Element JIANG Xiao-jun, LIU Zheng-guo, HONG Xiao-ou, and WANG Zhi-feng (School of Electronic and Electrical Engineering, Shanghai Second Polytechnic University Pudong New District Shanghai 201209) Abstract A method of obtaining the surface form deviation of the plane optical element by using BP neural network is presented. The curvatures of the interference fringes and the values of the fringe spacing of tested zones in the interferogram are determined, and the BP neural network is trained to obtain the value of light ring of the plane optical element. It is found that the test results obtained by Zygo interferometer are consistent with the test results obtained by the proposed method. Experimental results show that the method can enhance the adaptation capability of processing the interferograms and improve the measuring precision of the plane optical element. Key words BP neural network; digital image processing; fringe analysis; measurement 平面光学元件的光圈数反映了光学元件的面形 neural network)进行训练，最后获取被测平面光学元 偏差，获取这种信息的方法已经在光学加工领域得 件的光圈数。该方法克服了前述测量方法的不足， 到了广泛的发展[1-7] 。其中人工作图法可以满足光学 可有效地获取平面光学元件的光圈数。 元件生产车间的低成本检测要求，但过程