硅切割废砂浆回收现状木.pdfVIP

第43卷第9期 无机盐工业 2011年 9月 IN0RGANIC CHEMICALSINDUSTRY 5 硅切割废砂浆 回收现状 木 仝 宇，徐冬梅 ，齐 维，丛明辉 (山东科技大学化学与环境工程学院，山东青岛266510) 摘 要：介绍了硅切割废砂浆的来源、组成及性质。综述了国内外硅切割废砂浆回收技术现状，根据现行硅切 割废砂浆回收技术的成熟程度和硅组分的利用情况 ，将回收技术分为 3种类型：1)一般回收技术，即只回收切削液 和碳化硅磨料，不回收硅粉；2)高效回收技术 ，即同时回收切削液、碳化硅磨料和硅粉；3)间接回收技术，即利用碳 化硅的化学稳定性，将硅粉制备成其他化工产品，从而实现硅粉的有效利用。分析了硅切割废砂浆回收可能面临 的问题 ，并对今后的研究提出了建议。 关键词：废砂浆 ；硅；碳化硅；回收 中图分类号：TQ06 文献标识码 ：A 文章编号：1006—4990(2011)09—0005—03 Presentrecyclingstatusofdrainedslurry generatedbycutting siliconcrystal TongYu。xuDongmei，QiWei，CongMinghui (SchoolofChemicalandEnvironmentalEngineering，ShandongUniversityofScienceandTechnology，Qingdao266510IChina) Abstract：Thesource，composition，and propertiesofdrained slurrygeneratedbycuttingsilicon crystalwereintro- duced．Presentstatusandrelatedtechnologiesofdrainedslurryrecyclingathomeandabroadwerealsosummarized．Accord— ingtothedegreeofmaturationofexistingdrainedslurryrecoveringtechnologiesandtheutilizationofsiliconindrainedslur— ry，theexistingrecyclingtechnologiesmaybeclassifiedintothreecategories：1)Generalrecoverytechnology，i．e．onlyre— coveringSiCabrasivesandPEGcuttingfluidswithoutsiliconpowder；2JHighefficiencyrecoverytechnology。i．e．recovery ofSiCabrasives-PEGcuttingfluids，andsiliconpowderindrainedslurryatthesalnetime；3)Indirectrecoverytechnology， i．e．preparationofchemicalproductsfrom siliconpowderbytakingadvantageofthechemicalstabilityofSiC，thensilicon powderindrainedslurrycanbeefficientlyused．Problemsmaybefacedinrecyclingprocesswereanalyzedandsuggestions forthefuturestudyinthisaspectwerealsoproposed． Keywords：drainedslurry；silicon；siliconcarbide；recovery 21世纪以来 ，随着石油、煤炭等不可再生能源 、 照大小、厚度等规格将大块的单质硅体切割成符合 资源的不断开采和消耗，日益严峻的能源短缺问题 要求的硅片，工业上常采用线