應用微機電技術於能源採擷器之研究.pdfVIP

應用微機電技術於能源採 擷器之研究 The Study of Energy Harvester in MEMS Technology 1 2 魏懋全 、賴宇紳 1 2 國立暨南大學電機工程研究所電子組 、國家奈米元件實驗室 摘　要 本研究所提出的創新的S e lf - a lt e r na t io n M a g ne t ic - f l ux （S A M F ）和三維堆疊線圈結構 （3D-coils ）的設計具有重現性 、元件尺寸微縮的可能性及偵測寬頻震盪頻率之高靈敏度的能 源採擷器 （Energy Harvester）。創新的SAMF結構可使振動擷取器擁有高靈敏度與較寬的操作 頻率1 Hz ~ 700 Hz與非常短暫的暫態時間 0.25 µsec ；同時也證明我們所提出的三維堆疊線圈 結構於1 Hz外加震動訊號的條件下 ，元件輸出電壓2 ~ 6 （mv/coil）比先前的發表輸出電壓量 （~1 mV/coil）來的高 ，證明可在固定元件面積下來達到提升元件的輸出電壓量 。因此 ，所設 關鍵字／Keywords ● 計之能源採擷器有潛力擁有較多的應用層面例如回收人體走動或是汽車行駛間的晃動能量等 Energy Harvester ● 3D-coils 等。 ● Human Motion ● Self-alternation Magnetic-flux Abstract In this study, we report a reproducible, highly scalable, and highly sensitive broadband 1 Hz ~ 700 kHz vibrated energy harvester with innovated self-alternation magnetic-ux (SAMF) and 3D-coils designs. High sensitivity of 2 ~ 6 mV/coil at very wide frequency range of 1 Hz ~ 700 Hz t han 3, and the very fast transient time previous reports (~1 mV/coil), small magnet volume of 132 mm of 0.25 µsec are achieved due to innovated SAMF. Meanwhile, we also demonstrated 3D-colis stack-ability for output voltage enhancement. T his vibrated energy harvester t hus offers high potential for several