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59 5 2010 5
第 卷第 期 年 月 物 理 学 报 Vol. 59 ，No. 5 ，May ，2010
1000-3290 / 2010 / 59 (05)/3554-04 ACTA PHYSICA SINICA 2010 Chin. Phys. Soc.
*
Er 硅酸盐化合物薄膜的相转变和光致发光特性研究
1) 2) 1)
王兴军 董 斌 周治平
1)( ， ， 10087 1)
北京大学信息科学技术学院电子学系 区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室 北京
2)( ， 116600)
大连民族学院理学院光电子技术研究所 大连
(2009 8 18 ;2009 9 1 )
年 月 日收到 年 月 日收到修改稿
- Si (100) (Er silicate) .
溶胶 凝胶法在 基片上旋涂法制备铒硅酸盐化合物 薄膜 系统研究了烧结温度和烧结时间
Er silicate 、 . 1000 ℃ ， Er O SiO
对 薄膜相结构 相转变以及光致发光特性的影响 在 以下 薄膜晶体结构为 2 3 晶体和 2 非
. 1200 ℃ ， 30 min ， (100 )，(200 ) (300 )
晶的混合物 随着烧结温度增加到 保温时间增加到 薄膜晶体结构转变成 和 择
优取向的Er SiO 相. Er silicate 晶体结构对光致发光(PL)性能有显著的影响，Er O 晶体和SiO 非晶混合物的光
2 5 2 3 2
1. 535 m ， Er SiO ， 1. 528 m ， 10—20 .
致发光主峰为 μ 当晶体结构转变成 2 5 主峰变为 μ 强度提高 倍 研究结果表明具有
强光致发光特性的 Er SiO 薄膜是一种有前景的硅基光子学光源候选材料.
2 5
: ， ， - ，
关键词 发光学 光学薄膜 溶胶 凝胶法 铒硅酸盐
PACC :7855 ，6470
， Er silicate
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