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第 12 期 ·传感器技术· 1
提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)
1 ,2 1 1
郑 丹 ,宋朝辉 ,张 鲲
( 1 中国科学院 上海冶金研究所 ,上海 200050 ;2 上海应用技术学院 ,上海 200050)
( )
中图分类号: TP212 文献标识码 :A 文章编号 :1002 - 1841 2002 12 - 0001 - 02
如下 :波纹的间隔 D 为 200 μ
3 有限元分析与模拟 m ; 最外边的波纹距膜片
边缘距离 B 为 360 μ X
ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据 m ; 最内部的波纹距膜片中心
为 120μ H 为 10 μ W 为
硅微机械技术的特点对 3 种膜片进行建模。图 2 (a) m ;波纹深度 m ;波纹上沿宽度
μ
中的平膜没有什么特殊性 ,但图 2 (b) 和图 2 (c) 的波纹 100 m ;波纹槽长度 L 从短到长依次为 50 、150 、250 、
μ
膜和深盆腔膜则有一定的形状要求。统一将 3 种膜的 350 和 450 m.
2 对于深盆腔膜的深度 H ,分析时在 0～250 μ
水平面积固定为 1 ×1 ( mm ) ,其中对波纹膜只在图中 m 内
显示了 1/ 4 面积。膜厚都选表面微机械薄膜的典型值 变化寻求最佳深度值并观察深度对性能的影响变化。
μ 选用壳作为结构单元进行建模 ,这样膜片结构既能
为 1. 2 m. 考虑波纹膜和盆腔膜的形成很可能要在各
向异性腐蚀的硅上生长, 故确定了图中 54. 74°的角 够显示薄膜内应力特性也能实现弯曲挠动。另外该模
度。对于方膜上波纹的排布和波纹深度 ,根据文献[4 ] 型可以同时在膜平面内和法线方向加力学载荷 ,符合有
中给出的灵敏度最优化方式进行建模 ,其中波纹槽数 内应力和外加压力同时作用的敏感结构实际情况。
从膜片中心到边缘共5条 ,其他一些尺寸也优化确定 应力加载是根据文献[ 5 ] 中提出的冷冻等效方法
实现的。对于一定的应力值 ,可以根据下面的公式来
确定分析使用
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