薄膜X射线应力分析的实验方法.pdfVIP

理化检验 - 物理分册 　　　　　　P TCA ( PA R T : A P H YS. T EST . ) 　　　　　　2005 年 第 4 1 卷 9 实验技术与方法 薄膜 X 射线应力分析的实验方法 刘毓舒 (上海交通大学材料科学与工程学院 教育部高温材料及测试开放实验室 , 上海 200030) 摘 　要 : 提出一种适用于薄膜材料 X 射线应力分析的试样三维定向模式 ,在 X 射线低掠入射的 前提下允许按实验所需选择测量方向。高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测 2 ψ 量精度 ,也利于经典 sin 分析法实验线性关系的建立 ,从而简化了分析和计算程序 。 关键词 : 薄膜材料 ; X 射线应力分析 ; 低掠入射 X 射线束 ; 三维定向模式 ; 测量方向 中图分类号 : T G115 . 22 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 100 140 12 (2005) AN EXP ER IM EN TAL M E T HOD FO R XRA Y S TR ESS AN AL YSIS IN T H IN F IL M S L IU YuShu ( Key L aboratory for HighTemp erat ure Mat erial s and Test s of National Education Mini st ry , School of Mat erial s Science and Engineering , Shanghai J iao Tong U niver sit y , Shanghai 200030 , China) Abstract : A t hreedimen sionally orient ed mo de of exp eriment al sp ecimen s was p ropo sed to indep endently select measuring direction s for Xray st ress analy ses in t hin film mat erial s u sing lowgrazing incidence Xray diffraction and accor ding to t he exp eriment al need . The reasonable selection of diffraction lattice planes wit h high Miller index and mea suring direction s would win t he favor of enhancing t he mea suring p reci sion , est abli shing t he linear exp eriment al relation for t he cla ssical sin2 ψmet hod and simp lifying t he p rocedure of st ress analysi s and calculation . Key words : Thin film mat erial s ; Xray st ress analy si s ; Lowgrazing incidence Xray diffraction ; Three dimen sionally orient ed mode ; Measuring direction 入研究残余应力对薄膜强度及其使用性能的影响 , 1 　引言 薄膜材料的应力分析受到材料工作者的高度重视 。