真空蒸发镀膜技术的应用.pdfVIP

　　　　　　　　　　　　　　　　煤 　　矿 　　机 　　械 　　　　　　　　　　2000 年第 2 期 　 ·24 · ( ) 文章编号 2000 真空蒸发镀膜技术的应用 林 杰 , 亚振国 , 丁国利 , 李佐民 (佳木斯煤矿机械厂 , 黑龙江 佳木斯 　154002) 摘 要 : 叙述了真空蒸发镀膜技术的特点、原理及其操作注意事项 ,采用此技术可提高三用阀 镀层质量 ,延长其寿命。 关键词 : 真空蒸发 ; 镀膜技术 ; 质量 中图号: TG174444 　　　　　文献标识码 : A 1 　前言 单体液压支柱工作环境恶劣 ,腐蚀对其寿命影 响很大 ,虽然三用阀等关键件有镀层保护 ,但目前镀 层采用的是电镀法 , 由于电镀法存在很大局限性,致 使镀层厚度很难掌握 ,并且其镀层表面易产生麻点、 硬刺、脱皮、烧焦、斑点、暗影、积瘤以及树枝状和海 棉状积层 ,光洁度不够等缺陷 ,这就会缩短三用阀的 使用期限 ,直接影响单体液压支柱寿命 ,但是用真空 蒸发镀膜技术就可以避免上述种种缺陷 , 该镀膜技 术原理简单、设备制造容易、占地少、经济实用、安全 可靠、没有污染。 图 1 　真空蒸发镀膜原理图 2 　真空蒸发镀膜技术的特点 Fig1 　Principle of vaccuum vapour plating ( ) 1 镀件加热电源 　2 真空室 　3 镀件支架 　4 镀件 三用阀 　5 ( 1) 制膜材料及被镀件材料范围很广 , 无论是 ( ) 蒸发制膜材料 锡青铜 　6 蒸发器 　7 加热电源 　8 排气口 　9 金属、金属合金、金属间的化合物、陶瓷或有机物质 真空密封 　10 挡板 　11 蒸气流 等都可以蒸镀各种金属膜和介质膜 ,而且还可以同 4 　三用阀镀锡青铜 时蒸镀不同材料而得到多层膜。 将待镀材料锡青铜置于由玻璃制成的真空室内 (2) 要镀的材料在与待镀的工件生成薄膜的过 进行加热 ,当待镀材料达到适当温度以后 ,便蒸发成 程中 ,对其膜厚可以进行比较精确的测量和控制 ,从 蒸气原子 ,这些蒸气原子的平均自由程大于真空室 而保证了膜厚的均匀性。 线性尺寸时 ,蒸气的原子从蒸发源蒸发出来 ,就可以 (3) 镀膜可以通过微调阀控制镀膜室中气体的 成份和含量 ,按照人们的需要制成各种不同性质的 如同直线一样向各个方向直进 ,而很少受到其他分 薄膜。 子或原子的冲击与阻碍 ,这样被蒸发的锡青铜的原 (4) 镀膜过程可以实现连续化 , 从而大大提高 子碰到被镀的三用阀表面上 , 由于其表面温度较低, 产品的产量。 就凝结形成锡青铜膜。为了增强锡