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28 2 计 算 物 理 Vol . 28 ，No . 2
第 卷第 期
20 11 3 CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS Mar . ，20 11
年 月
文章编号:100 1-246X (20 11)02 -0250 -09
射频辉光放电 CH4 等离子体中电子的能量分布
* *
， ， ，
吕少波 蔺 增 王 庆 巴德纯
( ， 110004 )
东北大学机械工程与自动化学院 辽宁沈阳
: Lorentz ， CH .
摘 要 通过求解 简化的玻尔兹曼方程 得到射频放电 4 等离子体中电子的能量分布函数 求解过程
. 6 27 .
中使用一个简化的射频电场模型代替泊松方程求解放电电场 共计包含 类环境气体及 种电子碰撞反应 通
EEDF 、 、 . ，
过 对等离子体中的电子反应率系数 电子平均能量 电子的传输率系数等进行求解分析 结果表明 在
Maxwell ， Druyvesteyn .
等离子体鞘层区域电子能量具有 分布形式 在正柱区域具有 分布形式 最高电子能量和最
. .
大反应率系数出现在鞘层区域 电子的迁移率系数和扩散率系数随射频周期的演化时空分布不均匀
: ; ; ;
关键词 玻尔兹曼方程 射频电场 甲烷等离子体 电子能量分布
中图分类号:O46 1. 2 文献标识码:A
0 引言
等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ，PECVD)技术是目前低温制备
. (Diamond Like Carbon ，DLC)
薄膜材料的一种常用的方法 如类金刚石薄膜 的制备即是利用射频容性放电将
( CH ) ， ［1 － 3 ］. CH
源气体 如 4 电离形成等离子体 高能碳源粒子在基片上沉积成膜 理论研究 4 等离子体物理特
性对深入了解 DLC 薄膜沉积机理和改良薄膜制备工艺具有重要的指导意义.
CH CH
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