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脆性材料の疲労特性決定方法とシリコンの疲労寿命予測 脆性材料の疲労特性決定方法とシリコンの疲労寿命予測 名古屋工業大学大学院 工学研究科 機能工学専攻 教授 神谷庄司 名工大 新技術説明会 神谷 1 研究背景 シリコンの機械的疲労破壊＝MEMSの長期信頼性に対する脅威 シリコンの機械的疲労破壊＝MEMSの長期信頼性に対する脅威 →寿命定量評価の必要性 →寿命定量評価の必要性 そもそもシリコンはなぜ疲労する？ 雰囲気中の水蒸気で疲労加速＝皆納得 だから表面酸化・・・・・・・？ 真空中で疲労しない？＝ないことの証明は出来ていない・・・ 微小試験片中の転位の観察例、近年多数？ 不活性環境下で疲労する証拠はどうしたら得られるか？ 不活性環境下で疲労する証拠はどうしたら得られるか？ それを根拠に疲労寿命の予測ができるか？ それを根拠に疲労寿命の予測ができるか？ 極端に長い疲労寿命の 効率的推定方法が必要 名工大 新技術説明会 神谷 2 D. H. Alsem et al. / Scripta Materialia 59 (2008) 931–935 雰囲気中の水蒸気で疲労加速 湿度があるとノッチ底で酸化膜が成長 真空中では1011まで疲労しなかった C.L. Muhlstein et al. / Acta Materialia 50 (2002) 3579–3595 よって酸化膜の破壊＝不活性環境では疲労しない？ よって酸化膜の破壊＝不活性環境では疲労しない？ 名工大 新技術説明会 神谷 3 S. Nakao et al., J. Micromech. Microeng. 18 (2008) 015026 ・厚さ4 μmの単結晶試験片のじん性が70-80ºCで倍増 ・室温における破面にも転位射出が見られる 内部欠陥（転位？）の運動による破壊抵抗増加？＝不活性環境でも疲労するはず？？ 内部欠陥（転位？）の運動による破壊抵抗増加？＝不活性環境でも疲労するはず？？ 名工大 新技術説明会 神谷 4 A E A B C 50 ×400 μm, in-plane tension, 10 ×30 μm, in-plan