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第 卷 第 期 光学 精密工程
１５ ３
Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．３
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００７ ３ Ｍａｒ．２００７
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００７０３０３９６０６
犣犲狉狀犻犽犲多项式波面拟合的回归分析方法
亓 波，陈洪斌，刘顺发
（中国科学院 光电技术研究所，四川 成都 ６１０２０９）
摘要：介绍了一种干涉波面的Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式拟合方法，该方法从构造的正规方程入手并对其进行逐步回归分析，从众多
的Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式模式中选取影响显著的模式。采用仿真波前对本文提出的波面拟合方法进行了验证，结果表明该方法
可以得到干涉波面的最优模式组合，有效提高波面拟合的精度，拟合的 和 相对误差仅为 和 。
ＰＶ ＲＭＳ １．１１％ ０．０７％
关 键 词：信息处理技术；激光干涉术；波面拟合；逐步回归分析； 多项式
Ｚｅｒｎｉｋｅ
中图分类号： ； 文献标识码：
ＴＨ７０３Ｏ４３６．１ Ａ
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