表面波应用中具有温度稳定性石英晶体切型的最新发展.pdfVIP

概述：表面波应用中具有温度稳定性 石英晶体切型的最新发展 C. S. Lam 文 柳建松 陈洋洋 陈玉梅 译 宁波大学压电器件技术实验室 2010 年5 月 概述：表面波应用中具有温度稳定性石英晶体切型的最新发展 概述：表面波应用中具有温度稳定性 石英晶体切型的最新发展 摘 要 由于石英具有高品质因数和温度稳定的特性，使得它在频率控制 产品中被广泛应用。这里特别指出的是 SC 切石英。数年来，SC 切石英为窄带宽表面波 (Surface Acoustic Wave, SAW) 滤波器， 表面波谐振器，表面波振荡器，时钟，数据复原单元，频率传感 器等提供了最佳性能保障。自 1985 年温度稳定性 LSAW 石英 LST 切石英发现以来，基于常规表面波，LSAW ，SH 型表面波， HVP 表面波等，我们介绍了一些新的石英晶体切型，且其中一些 切型正在商业化表面波产品中被使用。本文介绍了这些在表面波 应用中具有温度稳定性石英晶体切型的发展情况及其发展趋势。 关键字：石英，表面波，表面波振荡器 1 介绍 由于石英的高品质因数和温度稳定特性，其在频率控制产品应用中仍继续担当 主角。自早期SC 切石英在表面波产品中使用后，许多新型温度稳定性石英切型曾 被介绍过。2004 年，作者通过对单旋转AT 切石英晶体板，双旋转SC 切石英晶体 板，ST 切衬底的表面波，基于单旋转晶体衬底的STW (Surface Transverse Wave) 以及对体波和表面波之间联系的介绍，首次介绍了本文的主题[1]。本文在这里介绍 了LST (Leaky Stable Temperature) 切，K 切和平面旋转33°Y 切石英晶体的发展 情况，也包括对基于石英的HVP (High Velocity Pseudo) 表面波发展情况。本文从 Weihnacht 在 2005 年发表的文中整理了一些有价值的讨论[2] 。在这篇文章中，作 者进一步拓展了概述内容，介绍了温度稳定性 SH 型石英晶体表面波切型的发展情 况和一些令人振奋的最新发展。 - 1 - 概述：表面波应用中具有温度稳定性石英晶体切型的最新发展 2 体波和表面波 许多年来，电子应用中的声波器件的研究者们，似乎默认地分成了两组——体 波组 (有时也称为晶体组) 和表面波组，并且看上去没有结合的可能。体波研究者 们都很熟悉AT 切和 SC 切厚度剪切石英晶体谐振器。作者注意到工业界已经开始 使用薄膜体声波谐振器 (Film Bulk Acoustic Resonator, FBAR)，其也称为体波谐振 器。本文中体声波技术保持其传统的意义。AT 切是经单旋转石英晶体板 Y 轴 (Y 切石英板的法线平行于Y 轴) = 35.25 °而得到的(见图1)。而对于主要用于恒温控 制晶体振荡器 (Oven-contrilled Crystal Oscillator, OCXO) 的SC 切石英晶体，则是 经过双旋转Y 轴 =33.93°和= 21.93 °得到的。 图1 单旋转和双旋转Y 切石英晶体板 在某种程度上，我们可以用“体声波角度 （BAW 角）” (Φ, θ , ψ)来精确 地描述体声波板。事实上，用来描述体波板的意义并不大，因为板的振动是本征 意义上的 “bulk ”(频率为板厚度的倒数) 。体波的传播方向沿着厚度方向，而粒子 的运动方向沿着X 轴方向。表面波研究者常用欧拉角 (, , ) 来描述具体表面波 切型以及波的传播方向。ST 切是最常用和最受欢迎的石英晶体切型 (ST=Stabl