梯形介质膜光栅衍射特性分析.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， ２８ ７ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．７ 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ７ 犑狌犾 ２００８ 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 狔 文章编号： （ ） ０２５３２２３９２００８０７１４１５０５ 梯形介质膜光栅衍射特性分析 １ １ １ ２ ２ ２ 孔伟金 云茂金 崔春玲 晋云霞 邵建达 范正修 　 　 　 　 　 １ ２ （青岛大学物理科学学院，山东 青岛 ２６６０７１； 中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 ２０１８００） 摘要 基于严格耦合波理论建立了梯形介质膜光栅的衍射机理模型，利用该模型讨论了底角为 的梯形介质膜 ７０° 　 光栅－１级的衍射行为。通过对梯形介质膜光栅的占空比、槽深和剩余厚度的优化，设计了应用于 １０５３ｎｍ和 角度入射的梯形介质膜光栅。对于顶层为 的介质膜光栅，当槽深为 ，剩余厚度为 ，占空 ５１．２° ＨｆＯ２ ２００ｎｍ １００ｎｍ 比为 ０．３５时，其衍射效率优于 ９９．５％，而对于顶层为 ＳｉＯ２ 的梯形光栅，为获得 ９９．５％的衍射效率，其槽深为 ８００ｎｍ，剩余厚度为 ３２０ｎｍ。而且，获得同样的衍射效率，顶层为 ＨｆＯ２的梯形光栅具有更宽的光谱特性。数值计 算表明，严格耦合波理论模型对梯形介质膜光栅衍射效率的计算具有很好的收敛性和稳定性。 关键词 光学薄膜；多层介质膜光栅；严格耦合波理论；衍射效率 　 中图分类号 ＋ 文献标识码 ： ／ Ｏ４８４．４ １ Ａ ｄｏｉ１０．３７８８ＡＯ１４１５ 　 　　　 　 　　　 犇犻犳犳狉犪犮狋犻狅狀犘狉狅犲狉狋 狅犳犕狌犾狋犻犔犪犲狉犇犻犲犾犲犮狋狉犻犮犌狉犪狋犻狀 狑犻狋犺 狆 狔 狔 犵 犜狉犪犲狕犻狌犿犌狉狅狅狏犲 狆 １ １ １ ２ ２ ２ 犓狅狀 犠犲犻犻狀 犢狌狀犕犪狅犻狀 犆狌犻犆犺狌狀犾犻狀 犑犻狀犢狌狀狓犻犪 犛犺犪狅犑犻犪狀犱犪 犉犪狀犣犺犲狀狓犻狌 犵 犼 　 犼 　 犵　 　 　 犵