类金刚石薄膜的表面纳米划擦性能评价.pdfVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 类金 刚石 薄膜 的表面 纳米划擦性 能评价 , , , 黄 立 业 ‘ 徐 可 为 吕 坚 西 安 交 通 大 学材 料 研 究 中心金 属材 料 强度 国家重 点 实验 室 , 西 安 特 鲁 瓦 技 术 大 学机 械 系统 并行 工 程 实验 室 , 法 国 摘 要 用射频等离子体增强化学气相沉积 在钦合金表面制备 了类金 刚石薄膜 , 利用纳米 压 入仪及其 附件研 究了薄膜与纳米划 擦有关 的力学性能 结果表 明 随薄膜厚度 的增加 , 其硬 度 略有增加 , 但增 幅较 小 , 弹性模量没有 明显 的相应规律 薄膜在 划擦过程 中, 随载荷增 加 , 先 后经历薄膜变形 、 薄膜 与基体共 同变形及 薄膜剥 离三个 阶段 在 薄膜变形 阶段 , 划 擦对薄膜 的 损 害较 小 当压头进入 薄膜一 定深度后 , 划擦后薄膜 与基体 的变形 不 同步 , 造成薄膜沿划 痕 向 两边形成 整齐 排列 的小裂纹 , 呈鱼骨状 达 到 临界载荷值 时, 薄膜在界面 处发生脆性剥落 随 膜厚增加 , 薄膜 的临界载荷增大 , 因其残余应 力 的相应增大而 发生大面积脆性剥 落 关 键 词 类金 刚石 薄膜 纳米压入 纳米划痕 生物材料 中图分类号 文献标识码 引言 植 入 体早期 失效 的重要 原 因之 一 是 由于 骨 分解 引起 的假 肢 松 动 , 它 们表 面 产 生 的磨损 颗 粒 或 释 放 的金 属 离子 , 以及 随后 释放 的促进 骨 消溶 的炎性介体 易造 成植 人体 临近 的骨 分 解 类 金 刚石 薄膜 因具有 良好 的化 学惰 性 、 高硬度 、 低摩擦 系数和 高磨 损抗 力 以