激光烧蚀金属Al诱导发光的动力学研究.pdfVIP

第 57 卷 第 4 期 2008 年 4 月 物 　理 　学 　报 Vol . 57 ,No . 4 ,April ,2008 ( ) 10003290200857 04 231406 ACTA PHYSICA SINICA 2008 Chin . Phys. Soc . 激光烧蚀金属 Al 诱导发光的动力学研究 黄庆举 (茂名学院物理系 ,茂名 　525000) (2006 年 12 月 13 日收到 ;2007 年 2 月 15 日收到修改稿) 　　利用时间分辨的光谱测量技术 ,测定了XeCl 紫外激光在不同条件下烧蚀金属 Al 诱导产生光谱线及其强度随 时间的分布. 结果表明:等离子体辐射光谱线由原子光谱线 、一价离子光谱线及连续辐射背景光组成. Al 原子光谱 线的辐射强度与持续时间为最大 ,一价离子光谱线次之 , 以连续辐射背景光为最小. 对激光烧蚀金属诱导发光的机 理进行了探讨. 等离子体中连续辐射背景光来自高能电子的韧致辐射和电子与离子的复合 ,原子光谱线和一价离 子光谱线主要来自等离子体中电子与离子的复合. 用此机理定性地解释了所观察到的实验现象. 关键词 : 激光烧蚀 , 时间分辨光谱 , 辐射机理 , 金属 Al PACC : 5225 , 5250 , 3200 , 4255B 辐射来自激光烧蚀溅射出的物质团簇或颗粒在等离 1 引 言 子体中被 电子汽化并激发 ,Lee[ 12 ] 则认为粒子与处 于激发亚稳态气体 的碰撞增加 了粒子 的激发 , 激光烧蚀固体靶已成为基础研究和应用研究的 Iida[ 13 ] 认为粒子与亚稳态气体的碰撞而导致的激发 一个重要课题. 激光烧蚀溅射在超导薄膜沉积 、同位 效率很低 ,Timmer 等[ 14 ] 认为复合过程可能是粒子激 素激光富集 、激光痕量分析 、固体表面的刻蚀与改 发的主要过程之一. 等离子体中的原子和离子辐射 性 、平板印刷 、固体材料微区分析等方面具有广阔的 强度随时间的变化反映了激光烧蚀诱导等离子体的 应用前景[ 1 —4 ] . 通过研究等离子体的原子 、离子特征 形成 、增强以及随激光脉冲终止以后的膨胀 、减弱到 谱线 ,可以获得激光沉积过程中的许多信息 ,为改善 消失的过程. 发射光谱法是研究激光等离子体及其 制膜条件提供依据. 通过光谱探测不仅可以得到等 动力学的重要手段之一. 为此 ,本文采用 308 nm 紫 离子体温度和密度及其随时间演化的信息 ,还可以 外激光烧蚀 Al 的方式 ,利用时间分辨光谱测试技 根据发射光谱线的强度与原子对应的元素发射谱线 术 ,测量了激光等离子体中的发射光谱 , 并对激光 用于样品的成分鉴定 、分析具有折射率和非导电的 等离子体辐射的机理进行了探讨. 材料等. 为此 ,人们通过对许多影响等离子体特征的 研究来提高发射光谱的元素分析精度. 当强激光辐 2 实验装置 照固体材料时将引起材料烧蚀 、诱导产生等离子体 发光 ,从靶面溅射出大量电子 、原子 、分子 、原子分子 ( 　　实验装置如图 1 所示 , XeCl 紫外激光器 脉冲 簇以及它们的正负离子[5 —7 ] . 从