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3314 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷
金刚石膜中氮杂质状态的研究*
∗
1 1 1 1 2 3
金曾孙 ，吕宪义 ，杨广亮 ，吴汉华 ，李哲奎 ，刘建设
(1. 吉林大学 超硬材料国家重点实验室，吉林 长春 130012 ；2. 延边大学 物理系，吉林 延吉 133000 ；
3. 河南黄河旋风有限责任公司，河南 长葛 461500)
摘 要：用EA-CVD (Electron assisted Chemical Vapor 沉积环境中的氮主要来自系统的漏气。实验中采用纯
Deposition) 方法制备出金刚石膜，并且用拉曼光谱、 度为99.999 ％的氢气，通过改变氢气流量的方法改变
荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中 沉积环境中的氮浓度。金刚石膜的制备条件见表 1。
的氮杂质。实验结果表明，用 EA-CVD 方法制备的 表 1 金刚石膜制备条件
金刚石膜中氮杂质主要是以 Ns0 、Ns+ 、[N—V]0 和[N Table 1 Synthesis conditions of diamond films
—V]-1 的形式存在，没有检测到在天然金刚石和高温 灯丝温度 (℃) 2100
高压金刚石中常见的A 和B 中心形式存在的氮杂质。 偏 压 (V) 300
沉积实验中随着氢气流量的增加，也就是金刚石膜沉 偏 流 (A) 20
灯丝电压 (V) 12
积环境中氮浓度的减少，金刚石膜中氮杂质含量减
灯丝电流 (A) 240
少。
基板温度 (℃) 900
关键词：EA-CVD 方法；金刚石膜；氮杂质
甲烷浓度 (sccm) 3
中图分类号：TN304.18 文献标识码：A
氢气流量 (sccm) 100～1000
文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 灯丝与基板间距(mm) 30
1 引 言 2.2 金刚石膜中的氮杂质
采用拉曼光谱、红外吸收谱、荧光谱和顺磁共振
天然金刚石和高压金刚石中氮杂质的研究有较 谱研究了金刚石膜中的氮杂质的存在状态及其含量
系统的报导[1,2] 。化学气相沉积法制备的金刚石膜中 随氢气流量的变化。
普遍含有氮杂质，由于金刚石膜是多晶材料，存在大
3 结果与讨论
量的晶界和缺陷，因此氮在金刚石膜中的存在形式可
能有它的特殊性。目前，金刚石膜中氮杂质研究有一
3.1 拉曼光谱的测量结果
些报导。K.Lakoubouski 等[3]报导了金刚石膜中的氮
图1为甲烷浓度为3sccm 时不同
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