电子束蒸发制备YBCO超导薄膜研究.pdfVIP

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2017-09-15 发布于重庆
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超导技术 Cryo. Sup ercond. 38 11 Sup erconduct iv ity V o.l 3 8 N o. 11 YBCO 王连红舒勇华樊菁 ( 100190) : Y BCO 760 840 Y BCO X ( XRD ) ( SEM ) 800 YBCO 77K 6 2 J 4. 2 ! 10 / cm c : YBCO; ; Study of YBCO film s prepared by E - b eam evaporation W ang L ianhong Shu Y onghua F an J ing ( The K ey L aboratory of H igh T emp erature G as Dynam ics In stitute o f M ech an ics Ch inese A cadem y o f Sc iences Be ij ing 100190 Ch ina) A b stract: Ep itax ia l YBCO sup ercondu c ting f ilm s w ere depos ited by E - beam evapo ra tion on sing le c rysta lline LaA lO3 ( 00 1) sub strate and m icrostru cture and sup ercondu ctiv ity of YBCO thin f ilm s w ere analyzed by X - ray d iffraction scann ing e lectron m icrograph and Jc scan system. W e found th at YBCO f ilm s f ired at 800 h ave the best b iax ial tex ture and Jc a ttached 4. 2 ! 106 / cm2 ( 77K 0T ) . K eyw ords: Y BCO E - beam evaporation Supe rcondu cting f ilm 1 Y Ba Cu O ( YBCO ) Y BCO 2 3 7 - x 77K ( 7T ) YBCO 5 7 2 ( 10 ~ 10 A. cm ) [ 1- 5] YBCO 2 : ( PLD Pu lsed L aser D eposi tion) [ 6 ] ( M agnetron Sputtering) [ 7] ( Therm a l Evaporation) [ 8] ( EBE E YBCO [ 9] L aA lO ( LAO ) 15mm ! 15mm