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第 26 卷 第 6 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 26 No. 6
2011 年 6 月 Journal of Inorganic Materials Jun., 2011
文章编号: 1000-324X(2011)06-0613-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2011.00613
金属膜电极层对 Na O-PbO-Nb O -SiO 玻璃陶瓷
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电容器电性能的影响
朱 君, 罗 君, 张庆猛, 杜 军
(北京有色金属研究总院 先进电子材料研究所, 北京 100088)
摘 要: 玻璃陶瓷电容器内电极结构及界面形貌对电性能有重要影响. 采用磁控溅射法在介质层与银浆料电极间分
别制备了 Pt 、Au 、Cu 和 Ag 金属膜内电极层, 研究此电极层对 Na O-PbO-Nb O -SiO 玻璃陶瓷电容器电性能的影
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响. 与单层浆料的电极结构相比, 引入 Pt 、Au 金属膜可以更有效地改善电性能: 等效电容值增加 25%, 漏电流降低
一个数量级. 由 SEM 结果可知: Pt、Au 、Cu 膜与玻璃陶瓷紧密的界面接触能够抑制银向介质中扩散; 然而, 采用
单层银浆料或引入 Ag 金属膜的样品界面多孔且银扩散严重. 以上分析表明: Pt、Au 金属膜电极层能够改善玻璃陶
瓷电容器界面微观结构, 有效抑制银的扩散, 提高整体电性能.
关 键 词: 金属膜; 内电极; 玻璃陶瓷电容器; 电性能; 扩散
中图分类号: TQ174 文献标识码: A
Effect of Metal Film Electrode Layer on Electrical Properties of
Na O-PbO-Nb O -SiO Glass-ceramic Capacitors
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ZHU Jun, LUO Jun, ZHANG Qing-Meng, DU Jun
(Advanced Electronic Materials Institute, General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China)
Abstract: The electrical performance of the stacked glass-ceramic capacitors depends largely on the inner elec-
trode structure and the interface quality. I
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