二维电子气散射机理研究.pdfVIP

第 卷第 期 半 导 体 学 报 , 年 月 , 二维 电子气 散射机理研究 涌 王 国 梁 兰 杨 斌 陈 海 占 基本 廖奇为 林 英 国 学 院 导 究所 导 学实 室 中 科 半 体研 半 体材料科 验 北京 摘要 本文采用三角 阱近似 , 计算 了 二维 电子气 电子 只 占据基态子带 、 、 、 、 、 , 学形 学压 程 以 时 由极 光学 声 势 声 电势 电离杂 电 杂质 金 及界 性 声子 变 远 质 本底 离 合 无序 、 、 、 面粗糙等七种主要 的散射机制决定 的 电子迁移率与温度 二浓度 本底 电离杂质沈度 以 及界面不平整度等 的关系 理论计算结果与实验符合很好 就作者所知考虑上述七种散射机制 计算 电子迁移率 的工作 , 以前未见报道 引言 影 响 二维 电子气 电子迁移率 的主要散射机制有 以下八种 声学形变势散射 声学 压 电势散射 皿 极性光 学声子散射 八 远程 电离杂质散射 本 底 电离 杂 质 散 射 合金 散 射 界 面 粗糙 散 射 姐 带 间散 射 和 , 、 、 , , , 「