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高栅介质材料特性的影响.pdfVIP

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  • 2017-09-15 发布于重庆
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高栅介质材料特性的影响.pdf

    年 月 西安电子科技大学学报 自然科学版( ) 2012 4 A r.2012 p 第 卷 第 期 39 2 JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY Vol.39 No.2 doi:10.3969/.issn.1001-2400.2012.02.027 j ALD淀积温度对HfO 高 栅介质材料特性的影响 2 k , , , , 匡潜玮 刘红侠 樊继斌 马 飞 张言雷

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