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100 工 具 技 术 基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器 杨旭东 　陈育荣 　谢铁邦 华中科技大学 摘 　要 :介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器 ,分析了其光学原理 、测量电路和信号 细分方法 。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法 ,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高 并且更便于光学调整 。该传感器的测量分辨率高达 5nm ,可应用于表面形貌的高精度测量 。 关键词 :迈克尔逊干涉 , 　位移传感器 , 　光电管 , 　信噪比 High Precision Displacement Sensor Based on Michelson Interference Principle Yang Xudong 　Chen Yurong 　Xie Tiebang Abstract : A high precision displacement sensor based on Michelson interference principle is presented. The optical princi ple , the measurement circuit and the subdivision method are analyzed. An improved arrangement method for photoelectric cells is applied in the sensor. The detection signal - to - noise ratio of the new method is improved remarkably and it facilitates optical ad justment compared with the traditional methods. The resolution of the high precision displacement sensor is about 5nm and the sen sor can be applied in high precision measurement of surface topography. Keywords :Michelson interference , 　displacement sensor , 　photoelectric cells , 　signaltonoise ratio 　　1 　引言 随着制造业的飞速发展 ,人们对工件表面质量 的要求也越来越高 。许多表面形貌都要求进行亚微 米甚至纳米级的测量与评定 ,迫切需要高精度的表 面形貌测量仪器及系统来满足这一要求 。本文的高 精度位移传感器基于迈克尔逊干涉测量的原理设 图 1 　高精度位移传感器的原理 计 ,采用共光路干涉 ,两束相干光经过相同的光路 , λ 使得外界环境变化不影响测量结果 ;对干涉条纹信 的光路防止了回授光对光源稳定性的影响 ,并且 / 号采用电路细分与软件细分结合的方法 ,提高了测 4 片前面的各反射面反射光中的非期望光线都被偏 量精度 ;采用新的光电管排列方法 ,使得传感器信噪 振棱镜给抑制了 ,不干扰干涉条纹 ,消除了杂散光的 比更高 。因此这种基于迈克尔逊干涉原理的新型位 影响 。采用偏振干涉系统能得到相当于一般干涉仪 移传感器具有很高的测量精度 , 已成功用于表面形 三倍的光强 , 能充分合理地利用所有的光强 。图 2 貌的测量系统中。