超声技术在硅湿法腐蚀中的应用.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １ Ｊａｎ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０１０１６６０６ 　 超声技术在硅湿法腐蚀中的应用 １ ２ １ ２ 曾毅波 ，王凌云 ，谷丹丹 ，孙道恒 （ 厦门大学 萨本栋微机电研究中心，福建 厦门 ； １． ３６１００５ ２．厦门大学 机电工程系，福建 厦门３６１００５） 摘要：为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀 溶液的顶部和底部温差在 之内。采用 ， 质量分数的 溶液，在超声频率为 ，超声功率为 ０．５℃ ６０℃ １０％ ＫＯＨ ５９ｋＨｚ ６０ （间隔 ）条件下对（ ）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（ ）对腐蚀后硅片表面 ～１８０Ｗ １０Ｗ １００ ＬＳＣＭ 粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在 １２０Ｗ 时，可以获得平滑 的腐蚀表面，表面粗糙度 值为 。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温 犚狇 ０．０２０ ｍ μ 度和较低浓度的ＫＯＨ溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。 关 键 词：湿法腐蚀；超声技术；表面粗糙度；激光共聚焦扫描显微镜；微机电系统 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ３０５．２ＴＢ５５９ Ａ 　　 犃 犾犻犮犪狋犻狅狀狅犳狌犾狋狉犪狊狅狀犻犮狋犲犮犺狀狅犾狅 狋狅狑犲狋犲狋犮犺犻狀 狅犳狊犻犾犻犮狅狀 狆狆 犵狔 犵 １ ２ １ ２ ， ， ， ＺＥＮＧＹｉｂｏ ＷＡＮＧＬｉｎｕｎ ＧＵＤａｎｄａｎ ＳＵＮＤａｏｈｅｎ ｇｙ ｇ （