Ag纳米粒子磁控溅射制备及其热稳定性研究.pdfVIP

王春平等:Ag纳米粒子磁控溅射制备及其热稳定性研究 2059 Ag纳米粒子磁控溅射制备及其热稳定性研究’ 王春平 ，‘徐 刚z，朱 俊 ，‘徐雪青2，何云富 ‘ (1.四川大学物理科学与技术学院，四川成都610064; 2.中国科学院广州能源研究所，中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室，广东广州510640) 摘 要:利用磁拉戏射在玻璃衬底上制备Ag纳米粗 2 实 验 子及其氧化物((AgO.)薄膜，通过高Q.退火实验，研究银 及AgO.薄膜的热稳定特性.采用X射线衍射分析薄膜 2.1玻片的清洗 的晶相结构，采用UVVs分光光度计测定薄膜的吸收 选用玻片 ((40mmX25mmXlmm)作为试样基片。 光语.结果表明:Ag纳米薄膜在450nm附近出现特征 基片先用清水洗净，然后在丙酮、无水乙醇中用超声波 吸收峰，200℃退火后，峰位蓝移，4000C退火后，吸收 清洗lomin，最后用去离子水冲洗烘干。 峰显著减弱，表明Ag纳米拉子在退火过程中发生了蒸 2.2 薄膜的制备 发;AgOX薄膜在200℃下退火后，出现Ag纳米拉子特 制备装置采用中科院沈阳科学仪器厂与我实验室 征吸收峰，表明AgO.的热分解，400℃退火同样导致 共同研制的JGP-450多功能超高真空磁控溅射镀膜系 Ag纳米粒子的蒸发. 统。样品制备采用高纯Ag(99.99%)为靶材，靶材与玻 关键词:Ag纳米粒子;磁控溅射;高温退火;光学特性 璃衬底的距离为10cm。为了减少杂质气体对材料的污 中图分类号:TF123.1+44 文献标识码:A 染，提高薄膜的性能，每次实验将溅射室抽至2.0X 文章编号:1001-9731(2007)增刊一2059-03 10-4Pa，然后充入高纯氨气(99.99%)。实验过程样品架以 3r/min的速率旋转。高温退火装置采用FisherScientific 1 引 言 公司IsotempMuffleFurnaces750Series马弗炉。 银纳米粒子薄膜近年来引起了不少科研工作者的 2.2.1Ag膜的制备 注意。这种薄膜是一种典型的非连续性薄膜，其中的 Ar气以60ml/min速度流入溅射室，使溅射室的工 Ag纳米粒子在衬底上以孤岛的形式存在。并与其相应 作压强保持在1Pa左右，射频功率设定为low.溅射时 的连续性薄膜表现出不同的光学特性，在可见光区域表 间分别为 3,20min，制备好的两个样品先使用 现出一个强烈的吸收，吸收带源于Ag纳米粒子的自由 UVVis8500换组量其吸光度，然后分别将样品切割成两 电子与光波的相互作用— 表面等离子体共振。这种共 块，一组放置马弗炉中加热至200℃保留2h，另一组加 振不仅导致了可见光区域特征吸收带的存在，还可使 热至400℃保留2h，待冷却至室温后取出样品。退火过 Ag纳米粒子周围的电磁场强度呈量级性地增强，一般 程均在空气中进行。 在1护.,.105左右。Ag纳米粒子这些特性体现出巨大的 2.2.2AgO,.膜的制备 应用前景，目前被广泛地应用于太阳能电池光吸收增 除溅射气氛的不同，制备条件与Ag膜制备基本相 强、纳米滤波器、生物与化学传感器、基因标签、表面 同。溅射气体是高纯Ar气与02的混合气体，二者的流 增强拉曼散射等[[l-51。制备Ag纳米粒子薄膜的方法有溶 速分别为60与10ml/min。两个样品的沉积时间分别为 胶一凝胶法、模板法、物理蒸发等6-【81，采用磁控溅射法 3与20min。退火过程同上。 制备的报道相对较少。磁控溅射能灵活控制薄膜的制备 2.3 薄膜的测试表征 条件，对深入研究Ag纳米粒子的各种特性提供了一种 利用X射线衍射仪 (Rigaku,D/max-IIIA)进行