CCD MOS 高精度界面态的测试研究.pdfVIP

下载本文档

17
0
约1.78万字
约 3页
2017-09-15 发布于安徽
举报
版权申诉

CCD MOS 高精度界面态的测试研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

1 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶ｄｏｉ：１０３９６９／ｊｉｓｓｎ１００３３５３ｘ２０１０ｚ１０５１ＣＣＤＭＯＳ高精度界面态的测试研究，，，，，袁之光荣丽梅张富杜江峰郭跃伟郭宇恒（电子科技大学微电子与固体电子学院，成都）６１００５４摘要：高精度界面态测试是可靠性研究的关键问题。分析了电导法测试的误差，ＣＣＤＭＯＳ讨论了采用电导法测试能达到的精度，并建立模型分析研究了寄生电阻、寄生电容Ａｇｉｌｅｎｔ４２９４Ａ和误差的关系，也对样品进行了测量及相关讨论。该方法界面态测试精度小于１０ ２ＣＣＤＭＯＳ１０ｃｍ １，研究结果为高精度界面态测试提供了重要依据。ｅＶＣＣＤＭＯＳ关键词：ＣＣＤＭＯＳ；电导法；界面态中图分类号：文献标识码：文章编号：（）增刊ＴＮ４０７Ａ１００３３５３Ｘ２０１０ ０１８８０３ＳｔｕｄｙｏｎＨｉｇｈＡｃｃｕｒａｃｙＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＣＣＤＭＯＳＩｎｔｅｒｆａｃｅＳｔａｔｅ，，，，，ＹｕａｎＺｈｉｇｕａｎｇＲｏｎｇＬｉｍｅｉＺｈａｎｇＦｕＤｕＪｉａｎｇｆｅｎｇＧｕｏＹｕｅｗｅｉＧｕｏＹｕｈｅｎｇ（，，，）ＳｃｈｏｏｌｏｆＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａＣｈｅｎｇｄｕ６１００５４Ｃｈｉｎａ：ＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｅｈｉｇｈａｃｃｕｒａｃｙｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｉｎｔｅｒｆａｃｅｓｔａｔｅｉｓｔｈｅｋｅｙｐｏｉｎｔｏｆＣＣＤｒｅｌｉａｌｉｔｙ ＴｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄｐａｒａｓｉｔｉｃｅｒｒｏｒｏｆｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍｅｔｈｏｄｕｓｉｎｇＡｇｉｌｅｎｔ４２９４Ａｉｓａｎａｌｙｚｅｄｂｙｍｏｄｅｌｉｎｇ Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，，ｔｈｅＣＣＤＭＯＳｓａｍｐｌｅｗａｓｍｅａｓｕｒｅｄｂｙｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍｅｔｈｏｄａｎｄｔｈｅｒｅｓｕｌｔｗａｓｄｉｓｃｕｓｓｅｄ Ｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｉｓｎｏｔ１０ ２ １ ·，ｏｎｌｙｐｒｏｖｅｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍｅｔｈｏｄｌｅｓｓｔｈａｎ１０ｃｍｅＶｂｕｔａｌｓｏｐｒｏｖｉｄｅｈｉｇｈａｃｃｕｒａｃｙｍｅｔｈｏｄａｎｄｉｍｐｏｒｔａｎｔｉｎ