Al基底SSAlN吸收层实验优化研究.pdfVIP

ofYunnanNormal 云南师范大学学报(自然科学版) Journal University No．4) 2013年7月一33卷4期(V01．33 Al基底SS—AIN吸收层实验优化研究。 陈智平， 吴沫萱， 李明， 季旭， 罗熙 (云南师范大学太阳能研究所，云南昆明650092) 摘要： 利用磁控溅射设备制备了SS-A1N太阳光谱选择性吸收膜，用分光光度计测量样品的光 谱反射曲线并与模拟计算所得到的反射曲线进行对比。结果表明：理论模拟曲线与实际测量虽不完全 吻合，但其吸收率基本相同。实验测得的用脉冲磁控溅射设备的单层吸收膜吸收率口一90．81％，理论 值为92．65％．可见，模拟分析能有效地预测SS-A1N膜层的光学性能。 关键词：SS-AIN太阳光谱选择性吸收涂层；吸收率；反射率；磁控溅射 中图分类号：TK512文献标志码： A 文章编号： 1007--9793(2013)04一0020—05 太阳能槽式聚光热发电技术相对于其他太阳 优化提供依据，进一步为该吸收涂层的腔体实际 能热发电技术最早实现商业化运营[11]，吸收器应用奠定基础。 是槽式太阳能集热器中光热转换过程的承载着， 其效率的高低将会直接影响系统的集热效率。目 1 实验装置及工作原理 前国外多采用直通式真空管作为线聚焦太阳能集 本实验采用JCP-450三靶磁控共溅射镀膜机 热系统中的吸收器Ⅲ，其具有热损小，效率高的优 和直流三靶磁控溅射镀膜机进行镀膜。JCP-450 点，但同时存在成本高，长期运行容易出现真空泄 三靶磁控共溅射镀膜机电源电压为双极脉冲电 露的问题。腔体吸收器是除真空管以外，可用于 压，双极脉冲由于存在正、负电压两个阶段，使靶 线聚焦太阳能集热器的另一种吸收装置，虽然热 面正电荷积累得到清除。为了提高靶的溅射产 效率偏低，但同时具有低成本，可靠性高的优点。 额，必须调整占空比，使负脉冲宽度远大于正脉冲 腔体内壁上涂制具有高吸收率的吸收涂层，能使 宽度。 腔体具有良好的吸收二次反射光线的效果，大大 在本实验中，以铝片为基体，S孓AlN作为吸 提高腔体的集热效率[5]。本研究采用不锈钢一氮 收层，A1N为减反射层。在如图1所示的镀制腔 化铝(S孓A1N)作为腔体式吸收器的吸收涂层。 室中，Al靶和SS靶同时安装在腔室的圆形平面 实验室沉积的SS-A1N吸收涂层的太阳吸收比高 靶上，基片(铝片)固定在基片基架旋转台上，镀膜 达94％～96％，室温辐射比3．5％～4．o％[6]．基 时转动。 于真空镀膜技术，本文将讨论研究Al基底的 SS-AIN吸收层的吸收特性，并进行理论分析优化 和实验研究对比，所获得的结果为该吸收涂层的 * 收稿日期：2013一05—28 基金项目：国家自然科学基金云南联合基金重点资助项目(U1137605)；国家国际科技合作资助项目 作