改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进.pdfVIP

2008年3月 化 学 工 业 与 工 程 第25 第2期卷 Mar.2008 CHEMICAL INDUSTRY AND ENGINEERING Vol.2 5 No.2 了夺夺小和加如中 · 、气. 夺 令 . 化工计算 拿 文章编号:1。一9533(2008)02一0154一06 、 今·令·.幸.今.今.今.4}}} 改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进 温 雅，胡仰栋，单廷亮 (中国海洋大学化学化工学院，山东青岛266100) 摘要:对改良西门子法多晶硅生产中尾气分离工艺进行了改进。应用Aspenplus软件，利用精馏、 吸收和吸附等不同分离方法进行组合，确定了尾气的分离序列，得到了操作条件温和的4个流程方 案。用温烩图进一步分析各流程方案，发现各流程进行热匹配的意义不大，但分离过程所需的冷 凝温度为250K，易于实现。通过对比流程设备、吸收剂加入量、主要设备的操作压力、需公用工程 加热与冷却的负荷等参数，确定了尾气分离的最佳流程。该流程的操作条件温和，且分离效果较 好。 关键词:多晶硅;尾气分离;温烩图 中图分类号:TQ018 文献标识码:A ImprovementsofSeparatingProcessinPolycrystallineSi ProductionbyModifiedSiemensArtsandCrafts WENYa,HUYang-dong,SHANTing-liang (OceanUniversityofChina,Qingdao266100, Province,China) Abstract:Theseparationprocessaboutdeoxidizingstovetailgasinthemodifiedsiemensartsandcraftsin polycrystallinesiliconproductionwasimproved.Aspenplussoftwarewasappliedtostudytheseparation processoftailgasthroughcombinationofdifferentseparationmethodsuchasrectification,absorption, adsorption,etc，andtheseparationsequenceoftailgaswasfixedon,fourflowblueprintsundermoderate operationconditionswasputforward.Temperature-enthalpydiagramwasusedtoanalyseeveryflowblueprint furtherly,andfoundthattherewaslittlesignificanceforheatmatchingofthefourflows，butthelowest temperaturerequirementoftheseparationprocesswas250K,whichwaseasytoberealized.Through comparingflowequipmentandparameterssuchasaddingquantityofabsorbent，operationpressureofmajor equipments,publicworksheatingandcoolingloadsetc，th