155μmSi基光电探测器的研究进展.pdfVIP

μ 《半导体光电》2003 年第 24 卷第 2 期 李传波 等 : 　1. 55 m Si 基光电探测器的研究进展 动态综述 μ 1. 55 m Si 基光电探测器的研究进展 李传波 , 黄昌俊 , 成步文 , 王启明 ( 中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室 , 北京 100083) μ 摘 　要 : 　从材料的生长 、器件结构的选择等方面对 1. 55 m 锗硅光电探测器的研究进展进 行了综述 ,对 Ge 量子点共振腔增强型光电探测器的应用前景进行了探讨与展望 。 关键词 : 　锗硅 ; 探测器 ; 量子点; RCE 中图分类号 : TN 303 　文献标识码 :A 　文章编号 :100 1 - 58