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第20卷第5期 中国惯性技术学报 V01．20No．5
2012年10月 JournalofChineseInertial Oct．2012
Technology
文章编号：1005—6734(2012)05-0601-04
MEMS加速度计温漂预测补偿模型
徐哲1’2，刘云峰1，董景新1
(1．清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京100084
2．总参陆航研究所，北京101121)
摘要：温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题，为提高加速度计的精度和使用范围，需
对温漂进行建模和补偿。首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析，然后分别采
用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型，最后应用环境温度试验数据对模型进
行检验和验证。结果表明：三种方法均能够有效的预测加速度计温漂，补偿后的温漂滞环开口由6．0mg
5
分别下降到5 mg、1
mg、10 mg。曲面拟合法简单、精度高，但对系统重复性要求高，且对噪声比较
敏感；SVM模型法计算能力强，但计算量较大，模型参数较多；RVM模型法模型参数较少，计算量小，
但训练时间校长，且预测精度不如其他两种方法高。
关键词：微机械加速度计：温漂：滞环：曲面拟合：支持向量机；相关向量机
中图分类号：U666．1 文献标志码：A
Thermaldrift and model
compensation
prognosis
ofMEMSaccelerometer
XU
Zhel一，LIU
Yun．fen91，DONGJing-xinl
ofPrecisionMeasurementand
(1．StateKeyLaboratory TechnologyInstruments，
ofPrecisionInstrumentand 100084，China；
Department Mechanology，TsinghllaUniversity,Beijing
101
2．ArmyAviation 121，China)
institute，BeOing
driftiSa factorthatlnfluencesthe effectivenessofMEMS
Abstraet：ThermaI accelerometer．
key practical
are for
The and ofthermaldrift the
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