Mn掺杂对ZnO∶Mn薄膜结构特性的影响.pdfVIP

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2017-09-14 发布于湖北
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Mn掺杂对ZnO∶Mn薄膜结构特性的影响.pdf

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34卷第9期发光学报 V。1．34N。．9 文章编号：1000．7032(2013)09—1167-06 Mn掺杂对ZnO：Mn薄膜结构特性的影响李彤H，介琼1，张宇1，倪晓昌1，赵新为1，2 (1．天津职业技术师范大学电子工程学院，天津300222： 2．东京理科大学物理系．日本东京) 摘要：利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上室温沉积了一系列不同Mn掺杂的znO：Mn薄膜。结合Raman光的过程中，ZnO：Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构；随着Mn掺杂浓度的增大，437cm“和527cm“位置上的Raman散射峰出现红移现象，说明Mn掺杂量的增加导致晶格更加无序，缺陷增多：当Mn摩尔分数达到 15．8％时，647cm。处的Raman散射峰出现，暗示了MnO的产生，同时薄膜结晶质量变差。这一结论也得到了XRD和sEM结果的支持。关键词：ZnO；Mn；拉曼；稀磁半导体中图分类号：TB34：TB43文献标识码：A 167 DOI：10．3788／fgx1 ThinFilms Influenceof onTheStructure ofZnO：Mn Mn-doping Properties 1_2 LI Yu Xin-wei 1，NI TongH，JIEQion91，ZHANGXiao—chan91，ZHAO Electronics and (1．School UniversityofTechnologyEducation,，Tianjin300222，China of Engineering，Tianjin of 2．DepartmentofPhysics，To咖UniversityScience，Tokyo，Japan) }CorrespondingAuthor，E—mail：ltspring@sohu．vom thinfilmswithdifferentMnconcentrationwere on substratesat Abstract：ZnO：Mn preparedglass room RF method．Raman diffraction temperatureusingmagnetronsputtering spectroscopy，X-ray results andSEMwereusedto thestructuralcharacteristicsoftheZnO：Mnfilms．The spectra analyze