关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究.pdfVIP

第34卷第5期 应用光学 V01．34NO。5 of 2013年9月 JournalAppliedOptics Sep．2013 文章编号：1002—2082(2013)05—0845—04 关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究 郭文静，石兵华，金永 (中北大学电子测试技术国家重点实验室，山西太原030051) 摘要：针对傅里叶变换轮廓术在实际测量中容易受到光学成像系统和计算方法的影响而使得 测量结果不精确的现象，提出基于最小二乘法的条纹图像预处理技术，并讨论了滤波器的设计、 相位展开的方法及系统标定模型对测量结果的影响。实验表明，改进后的方法其测量误差在 2％以内。 关键词：傅里叶变换轮廓术；预处理；滤波器；相位展开；系统标定 中图分类号：TN206 文献标志码：A doi：10．5768／JA0201334．0503006