AuAl键合系统失效对IC器件的影响.pdfVIP

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2017-09-14 发布于湖北
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一键合系统失效对器件的影响林晓玲 , 郑廷圭电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室 , , , 旦旦卫旦旦旦信息产业部电子第五研究所广州】姻匹丝四 , 文绍了一键合的失理及其对器可靠的影响具例摘要本介系统效机件性并以体实说 , , 明了一键合系统生成金铝间化合物和柯肯德尔空洞导致器件失效最后提出了相应的预防措施。 , , 关键词一键合系统金铝间化合物空洞柯肯德尔空洞引言、 , 引线键合是半导体封装内部互连的主流方式之一