机电耦合中微开关悬臂梁的瞬态分析.pdfVIP

· 66 · 机电耦合中微开关悬臂梁的瞬态分析 陈美琴 (闽西职业技术学院 机械工程系，福建 龙岩 364021) 摘要：在微机电开关梁的设计过程中，对其吸合过程的响应时问的分析具有重要的意义。对静电力驱动的微开关梁的瞬 态分析用fi-确定设计中的结构或机器部件的响应时阎是必要的。运用ANsYS软件对微粱模型进行机电耦合分析，采用 Trans126换能器单元的直接耦舍静电一结构分析模型’分析了微梁的瞬态特性i得出微梁的吸合时间随着厚度的增大而 增大。 关键词：微梁 机电耦合 Tranl26 瞬态分析 。 中图分类号：TN304 文献标识码；A _文章编号：1 -6ss6(2012}06-OO66-03 TransientTestforMEMSSwitchofCantileverBeam UnderElectrostatic—-mechanicalCoupling CHEN Meiqin Abstract：InthedesignprocessoftheMEMSswitchbeam，theanalysisofthepull—intimehasimportantsignificance．Inorderto designthepull—intimeoftheMEMSdevices，theanalysisofthetransientontheelectric—poweredmicro-beam isnecessary．Basedon thedirectcouplingmethodtonaalyzethecouplingofmechanicalnadelectricalcouplingbeam，UsingANSYSsoftwaretocreatethemod— elofthemicro—beam toanalysistheelectrostatic-mechanical coupling，usingTrans126transducerelementcreateanalysismodelbuild— ing，analyzeof microbeam transientcharacteristics，obtainingthattheup ll—intimeofthemicro—beam asthethicknessincreases． Keywords：micro-·beam；electrostatic-—mechanical coupling；Trna s126；transienttest 元矩阵或载荷向量的方式进行耦合。顺序耦合方法包括 0 引言 两个或多个按一定顺序排列的分析，每一种属于不同物理 微电子机械系统 (MEMS，MicroElectro—Mechnai— 场的分析。通过将前一个分析的结果作为载荷施加到第 calSystem)是将微型传感器、微执行器、信号处理、控制电 二个分析中的方式进行耦合。 路集于一体的微型系统，是微机械与微电子的有机集成。 ANSYS中直接耦合方法只包含一个分析，它使用包 由于其超小体积及其独特的高智能集成系统，使其在信 含多场 自由度的耦合单元，通过计算包含所需物理量的单 息、生物医学、卫生保健、航天工业、消费产品等军事，工业 元矩阵或载荷向量的方式进行耦合 。TRANS126换能器 和民用的多个领域中有着广泛的应用前景。 单元分析属于直接耦合法分析，且是强耦合分析，在模拟 微梁结构经常被用于开关中，曹天捷 等人通过两端 分析微机电系统中的静电驱动微梁时，采用强耦合分析更 固支梁挠曲线微分方程对两端固支微开关梁中的轴力效 能精确得表达微梁的机电耦合隋况。 应进行了分析；清华大学高钟毓 采用频谱分析仪测定 2 微梁瞬态分析 MEMS的动态模型，研究微结构的频率与预载电压的变化 关系。该文将采用Trnas126换能器单元对