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薄膜厚度测量方法研究与应用 [摘要]测量薄膜厚度的方法很多，其中在实验室中利用迈克尔逊干涉仪测量薄膜厚度的方法,原理简单。 通过测出动镜的移动量及观察相应的干涉条纹变化现象,就能计算薄膜的厚度,有较高的测量精度。 并基于此装置进行实际测量,理论和实际相符的较好。因此，产生了许多测量薄膜厚度的方法，在众多方法中，光学方法是被应用最广泛的方法，它相对于其他类方法具有快速、准确、不损伤薄膜等优点。近年来随着高精度光学器件的产生和计算机的普及应用，薄膜厚度测量的精度有了很大的提高。在工业生产中，根据测量方法所采用的光源不同可分为两类,一类是以激光做光源;另一类是以白光做光源。 [关键词]迈克尔逊干涉仪；薄膜厚度；激光干涉法；干涉条纹；颜色色调检测法；分光光度测量法；比较分析 引言 在实验室中我们经常利用迈克尔逊干涉仪观察干涉现象，现在我们介绍一种以钠光作光源，用迈克尔逊干涉仪测量薄膜厚度的方法，其测量原理、方法简单，便于实验室中操作; 在工业生产中所应用的薄膜厚度是一个非常重要的参数，它直接关系到薄膜能否正常工作。因此，产生了许多测量薄膜厚度的方法，在众多方法中，光学方法是被应用最广泛的方法，它相对于其他类方法具有快速、准确、不损伤薄膜等优点。近年来随着高精度光学器件的产生和计算机的普及应用，薄膜厚度测量的精度有了很大的提高