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维普资讯 基于MSP430的定频调幅式 电涡流传感器位移测量系统 邵爱霞 赵 辉 刘伟文 (上海交通大学信息检测技术及仪器系，上海200030) 摘 要 本测量系统采用平面线圈的电涡流传感器结构，定频调 幅式电涡流传感器测量 电路，利用 MSP430F133系列单片机对测量系统数据进行采集和处理，并对该测量系统应用于防水数显卡尺中的可行性进行 了初始阶段的试验。与调频电路相比，定频调幅电路具有响应快、功耗低、稳定性好的突出特点；MSP430F133具有 超低功耗特性，为本测量系统应用于便携式测量设备提供保证。 关键词 电涡流传感器；调幅；防水数显卡尺；MSP430 生电涡流，从而使得传感器线圈的参数 (例如电感、 0 引言 阻抗、品质因数等)发生变化 1【,2J。当传感器动尺与 传统的电涡流传感器主要应用于变距离式测 定尺之间产生相对移动时，电涡流强度将发生周期 量。变距离式涡流传感器的测试精度高，但测量范 性改变，导致传感器线圈的参数出现周期性变化。 围小。而变面积式的电涡流传感器测量量程主要取 通过适当的电路，可以得到周期性变化的电信号输 决于线圈的尺寸。本文讨论的变面积式电涡流传感 出，由此可以实现位移的测量。 器采用平面线圈结构，利用 MSP430F133系列单片 机对多通道涡流信号进行采样，扩充了电涡流传感 线圈 器的测试量程，实现了横向位移测量。研究这种电 反射体＼ 一 一 一 涡流传感器的技术，对于开展移动式传感器的研究、 拓宽涡流传感器的使用范围、新型传感器的研制等 均有理论指导意义。本测量系统采用MSP430系列 超低功耗类型的单片机，并将该测量系统应用于防 水数显卡尺等手持设备中。 1 涡流传感器的结构与测量原理 图1 基于电涡流效应的位移传感器 传感器系统构成如图1所示，包括定尺和动尺 当采用多码道结构时，可以根据码道之间的空 两部分l1]。定尺表面均匀分布许多金属反射导体， 间相位差确定动尺与定尺之间的绝对位置，从而实 其中心距称之为测量波长。根据不同需要，定尺上 现绝对位移测量与定位。 的反射导体可以排列成两个或更多的码道，每个码 由于定尺与动尺之间是通过电磁场相互作用实 道的测量波长不完全相同。动尺上安装有若干空心 现位移测量，因此当期间存在液体介质时，对测量结 平面线圈，可以采用多层印制板工艺制作，线圈的数 果没有影响。 量一般为偶数，线圈之间的距离一般为 1／4测量波 2 定频调幅式测量电路 长的整数倍。当反射导体具有多个码道时，传感器 线圈也相应具有同样的码道数量。 电涡流传感器的测量电路可以归纳为：调幅式 根据电涡流原理，当传感器线圈中通过交变电 和调频式两种。调幅式又可分为恒定频率的载波调 流时，在空间将产生交变电磁场，并在金属导体内产 幅式与频率变化的载波调幅两种。根据测量电路可 · 29 · 维普资讯 以把电涡流传感器分为3种类型，即：定频调幅式， 于振荡器的高频信号频率时，输出的电压 U最大， 变频调幅式和调频式，这里采用的是定频调幅式电 并设为U0，而测量时，亦即被测