微摩擦测试中双平行簧片结构弹性元件的设计.pdfVIP

2012伍 传 感 器 2012 第 l2期 and Sensor No．12 微摩擦测试中双平行簧片结构弹性元件的设计 李一全，施庆永，于化东，于占江 (长春理工大学机 电工程学院，吉林长春 130022) 摘要：设计了一种应用于微摩擦测试中的双平行簧片结构弹性元件，此弹性元件可同时测量正压力及摩擦力；从理论 上分析了弹性元件的力学性能，通过有限元数值仿真方法研究了弹性元件的受力变形；最后对弹性元件进行了标定试验 并进行试验数据分析。结果表明：双平行簧片结构弹性元件具有 良好的线性特性、回复特性及灵敏特性，为高精度微摩擦 力测试提供一种有效的试验工具。 关键词：微摩擦；双平行簧片结构；有限元分析 ；标定试验 中图分类号：TP136 文献标识码 ：A 文章编号：1002—1841(2012)12—0176—03 DesignofElasticElementwithDoubleParallelSpringforM icro-FrictionTest 仪 _蚕 u Yi—quan，SHIQing—yong．YUHua—dong，YUZhan—jiang 表 (DepartmentofMechanicalEngineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022，China) 技 Abstract：A newelasticelementwithdoubleparallelspringwasdesigned，whichwillbeusedinmicro—frictiontestandhasthe 术 _言 capabilityofsimultaneouslymeasuringmicrofrictionandnormalfmce．Themechanicalpropertiesoftheelasticelementwereana— 与 lyzedintheoryandthestraincharacteristicsofthee]astieelementwerestudiedbythefinite—elementnumericalsimulationmethod． Finally，thestiffnesscalibrationexperimentofthespringwasdone；theresultsofcalibrationexperimentshow thaitheelasticele— mentdoubleparallelspringisofexceptionallinearityandpreferablerecoverability．Itisaneffectivetoolforthehigh—precisionmi— cro—frictionexperiment． Keywords：micro—friction；doubleparallelspring；finiteelementanalysis；calibrationexperiment 0 引言 验结果显示，该双簧片结构弹性元件有性度好、灵敏度高等特 随着精密工程技术 、微机电系统 (MEMS)技术的研究。迫 点，井可同时测试正压力与摩擦力。 切需要对其材料特性 、表面质量 、结构形状等方面给出可靠的 l 双平行簧片结构设计 参考数据。由于微系统中的构件存在尺寸效应和表面效应，在 网1为双平行簧片组成结果