激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器.pdfVIP

112 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2013年 第32卷 第 1期 激光加工硅片的膜片式法-tfl干涉型光纤压力传感器 刘 宇 一，王 萌 ，王 博 ，姜丽娟 ，王少华 ’ (1．天津大学精密仪器与光 电子工程学院，天津 300072； 2．天津大学光电信息技术教育部重点实验室，天津300072) 摘 要：分析了多个反射面对单法～珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法～珀腔的反射面 的反射率以消除这一影响，利用Nd：YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处 理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端，最后插入单模光纤并封装 成非本征(EFP1)光纤法～珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验，结果表明：在40～240kPa气压 范围内，传感器压力灵敏度为 11．9nnJkPa，线性度为 1．5l％。 关键词：传感器；非本征法一珀干涉型；膜片式法一珀干涉型光纤压力传感器；Nd：YAG激光加工 中图分类号：TN253 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)01-0112-03 Diaphragm-typeF·P interferometricopticalfiber pressuresensorbasedon Sichipprocessedbylaser LIUYu一，WANGMeng ，WANGBo一，JIANGLi．jua． ，WANGShao．hua (1．SchoolofPrecisionInstrumentOpto—electronicsEngineering，TianjinUnive~ity，Tianjin300072，China； 2．KeyLaboratoryofOpto-electronicsInformationTechnical，MinistryofEducation．Tianjin300072．China) Abstract：TheinfluenceofmultimirroronspectroscopicmethodologydemodulationsingleFabry—Perot(F—P) cavitysensorisstudied．In ordertolowerthereflection ofthesurfacewhichisnotused toform F—P cavityto eliminatethisinfluence，onesurfaceoftheboth—surfaces—polishedSidiaphragm istexturedbyusingNd：YAG laser processingsystem．A smallroundpieceoftextureddiaphragm cutoffbylaserisbondedontooneendotahollow glasstube，asinglemodefiberispluggedintotheglasstubeandanEFPIpressuresensorispackaged．Staticair pressureexperimentsaretakenandtheresultsshow thatthesensorachievesasensitivityof11．9nm／kPaanda linearityof1．51％ attherange40～240kPa． Keywords：sensor；extrinsicF—P interferometrie(EFPI)；diaphragm—typeF—P interferometrieoptiealfiber pressuresensor：Nd：YAG laserprocessing 0 引 言 1 传感器原理与结构 光纤法一珀压力传感器抗电磁干扰，结构多变，体积小 对于周边固定的圆形硅片在受均匀施加的压力时发生 巧，并能够忍受恶劣条