半导体光电子器件制造业MES 的应用与发展.pdfVIP

应用科技 半导体光电子器件制造业MES 的应用与发展 栓银 王继帅 李 超 （中国科学院苏州生物医学工程技术研究所, 江苏苏州 215163） ［摘 要］对半导体光电子行业MES(ManufacturingExecution System)的应用现状做了总结，分析了现有系统的功能属性、模块分类及使用效 果，归纳了目前系统的技术特点和存在的问题，并在此基础上指出了半导体光电子行业MES 系统体系结构的发展方向，以供企业设计MES 系统参考。 ［关键词］半导体光电子；制造业；MES （ （ 半导体光电子器件主要包括发光二极管 LED）、激光器 LD）、 我国光电子器件MES 起步较晚，有代表性的公司包括巴陆科技 （ 。随着技术的进 。 电荷耦合器件 CCD）、太阳能电池以及光电探测器等 A MES、奥比特OrBit-MES 等 OrBit-MES 构建于中国自有知识产 步，半导